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BROOKS熱式質(zhì)量流量計(jì)

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更新時(shí)間:2024-05-15 15:12:04瀏覽次數(shù):109

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BROOKS熱式質(zhì)量流量計(jì)

詳細(xì)介紹

GF40 系列橡膠密封熱式質(zhì)量流量計(jì)和控制器

一臺(tái)設(shè)備,適用于多種氣體和多種流量,的靈活性
型號(hào) GF40

使用一臺(tái)設(shè)備應(yīng)對(duì)多種氣體相當(dāng)于實(shí)現(xiàn)了工藝靈活性和生產(chǎn)大化。采用布魯克斯儀器 MultiFlo™ 技術(shù)的 GF40 系列橡膠密封熱式質(zhì)量流量計(jì)和控制器非常適用于那些使用多種氣體、需要頻繁切換氣體類型或是需要在保證氣體測(cè)量和控制準(zhǔn)確性的同時(shí)重新設(shè)定測(cè)量范圍的系統(tǒng)、工藝和設(shè)施。該產(chǎn)品與的流量測(cè)量和控制性能相結(jié)合,能夠?qū)⒐に囲`活性提升至新高度。

特點(diǎn)

  • 可編程多氣體/多量程功能
  • Brooks® MultiFlo™ 氣體數(shù)據(jù)庫包含數(shù)千種天然氣體測(cè)定結(jié)果,可用于建立修正函數(shù)
  • 流量響應(yīng)時(shí)間不足 1 秒,精度可達(dá)目標(biāo)應(yīng)用設(shè)定值的 1%
  • 非常適用于各種氣體
  • 快速響應(yīng),哈氏合金傳感器
  • 擁有獨(dú)立于工具通信并可輕松接入的診斷服務(wù)端口
  • 多協(xié)議通信選件包括 DeviceNet™、EtherCAT®、Profibus® 和 RS-485 模擬接口

優(yōu)勢(shì)

  • MultiFlo™ 技術(shù)能夠在不拆除管路中 MFC 的條件下設(shè)定新氣體和滿量程,從而限度延長(zhǎng)運(yùn)行時(shí)間
  • MultiFlo™ 編程功能簡(jiǎn)單、易用;60 s 內(nèi)即可完成新氣體的選擇操作
  • 可大幅降低設(shè)備商和大型終端用戶的流量控制器庫存
  • 得益于基于國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的高級(jí)計(jì)量系統(tǒng)和校準(zhǔn)技術(shù),產(chǎn)品擁有出色的工藝氣體測(cè)量精度
  • 耐腐蝕傳感器擁有的長(zhǎng)期穩(wěn)定性,可確保良率和產(chǎn)能
  • 對(duì)用戶開放的服務(wù)端口簡(jiǎn)化了故障排除和診斷操作
  • 各種橡膠密封件為各種應(yīng)用提供了經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的性能靈活性
  • 多協(xié)議通信接口可集成至現(xiàn)有系統(tǒng)

應(yīng)用

  • 太陽能電池化學(xué)氣相沉積
  • 生命科學(xué)實(shí)驗(yàn)室
  • 真空處理
  • 納米技術(shù)/MEMS 制造
  • 等離子體、玻璃和卷繞鍍膜系統(tǒng)
  • 非常適用于管匯系統(tǒng)/氣體輸送系統(tǒng)


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