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工業(yè)檢測(cè)顯微鏡BM-54XBD 返回列表頁

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更新時(shí)間：2024-06-26 13:07:58瀏覽次數(shù)：95次

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工業(yè)檢測(cè)顯微鏡BM-54XBD

一、用途

BM-54XBD工業(yè)檢測(cè)顯微鏡配有大移動(dòng)范圍的載物臺(tái)、落射照明器、平場(chǎng)無限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距離明暗物鏡、大視野目鏡、圖像清晰、襯度好。是針對(duì)半導(dǎo)體工業(yè)、硅片制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、冶金工業(yè)開發(fā)的，作為**工業(yè)顯微鏡使用?？蛇M(jìn)行明暗場(chǎng)觀察、落射偏光、DIC觀察，廣泛用于工廠、研究機(jī)構(gòu)、高等院校對(duì)硅片、電路基板、FPD、精密模具的檢測(cè)分析。

二、特點(diǎn)

1、采用了UIS高分辨率、長(zhǎng)工作距離無限光路校正系統(tǒng)的物鏡成像技術(shù)

2、拓展了物鏡的復(fù)用技術(shù)，無限遠(yuǎn)物鏡與所有觀察法相兼容包括明暗視野法、偏光法，并在每一觀察法中均提供高清晰的圖像質(zhì)量

3、采用非球面Kohler照明，增加觀察亮度

4、WF10X(Φ25mm)超大視野目鏡，長(zhǎng)工作距離明暗場(chǎng)金相物鏡

5、可插DIC微分干涉裝置的轉(zhuǎn)換器

三、技術(shù)規(guī)格

1、目鏡：

類別	放大倍數(shù)	目視場(chǎng)直徑（mm）
超寬視場(chǎng) 平場(chǎng)目鏡	10X	Φ25
目鏡 (帶0.1mm十字分劃板）	10X	Φ20

2、物鏡：

類別	放大倍數(shù)	數(shù)值孔徑N.A(mm)	系統(tǒng)	工作距離（mm）
平場(chǎng)無限遠(yuǎn) 長(zhǎng)工作距離明暗場(chǎng)物鏡	5X	0.10	干	29.4
	10X	0.25		16.0
	20X	0.40		10.6
	40X	0.60		5.40

3、顯微鏡的總放大倍率：

物鏡	目鏡	鏡筒系數(shù)	總放大倍數(shù)
5X	10X	1X	50X
10X			100X
20X			200X
40X			400X

4、觀察頭：30°鉸鏈?zhǔn)饺?/p>

5、轉(zhuǎn)換器：帶DIC 插孔明暗場(chǎng)五孔轉(zhuǎn)換器

6、瞳距：50-75 mm

7、雙層移動(dòng)平臺(tái)：平臺(tái)尺寸：350×310 mm；移動(dòng)范圍：250×250 mm

8、濾色片：插板式濾色片（綠、藍(lán)、中性）

9、調(diào)焦機(jī)構(gòu)：粗微動(dòng)同軸調(diào)焦,采用鹵輪鹵條傳動(dòng)機(jī)構(gòu)；微動(dòng)格值0.002mm

10、偏光裝置：檢偏鏡可360°轉(zhuǎn)動(dòng)，起偏鏡、檢偏鏡均可移出光路

11、檢測(cè)工具：0.01 mm測(cè)微尺

12、光源：落射照明：帶孔徑光欄和視場(chǎng)光欄，鹵素?zé)?2V100W，AC85V-230V，亮度可調(diào)