紅外杜瓦真空排氣臺

　　設(shè)備特點

　　該設(shè)備主要用于紅外杜瓦的真空處理，是無油、超高真空系統(tǒng)，可實現(xiàn)紅外杜瓦內(nèi)真空獲得、烘烤除氣、工作氣體保護(hù)、氣密性檢測等制備工藝過程的控制，具有排氣速度快，極限真空度高等特點。設(shè)備廣泛應(yīng)用于紅外探測、航空、航天等業(yè)及民用領(lǐng)域。

　　技術(shù)性能

　　1 工位數(shù)為16工位，分兩組，每組8個工位；

　　2 極限真空度：熱態(tài)空載狀態(tài)下真空度達(dá)到5~7×10-7Pa；

　　3 工位口加熱溫度80℃，8路溫度均勻性±1℃，控溫精度±1℃；

　　4 工位處配置充N2接口，使在卸下工件時能夠充入N2保護(hù)；

　　5 設(shè)有專用檢漏口，能夠滿足每次在安裝工件后進(jìn)行細(xì)致氦質(zhì)譜檢漏，以避免漏氣狀態(tài)下進(jìn)行排氣過程。