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詳細(xì)介紹
應(yīng)用領(lǐng)域
應(yīng)用于光探測器用電子玻璃材料、光敏微精玻璃等光電子玻璃產(chǎn)品的制造。
技術(shù)性能
1．工位接口數(shù)量：6-20工位；
2．極限真空度：抽排的工件極限真空度10-8Pa；
3．無油污染：采用無油機(jī)械泵與分子泵，避免油蒸汽對工作環(huán)境的污染；
4．烘烤：烘箱加熱，烘烤溫度可達(dá)到200℃且具有溫度顯示和可調(diào)功能；
5．工位處配置充N2接口，使在卸下工件時能夠充入N2保護(hù)。
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