倍增級磁控鍍膜機

　　倍增級磁控鍍膜機主要應(yīng)用于光電倍增管倍增級表面的銻膜鍍制。在膜層制備過程中可實現(xiàn)對光電倍增管的倍增級基底進行烘烤除氣、離子轟擊清潔、膜層沉積和偏電壓輔助、膜厚工藝測試等功能，可進行數(shù)字化編程、程序控制和動態(tài)監(jiān)測，能夠?qū)崟r顯示、記錄、統(tǒng)計、計算、保存、輸出各種運行數(shù)據(jù)，達到精確控制膜厚和沉積均勻性的要求。

　　性能參數(shù)：

　　1）、磁控靶沉積單金屬銻；

　　2）、腔體內(nèi)腔尺寸：Φ600x420；

　　3）、具備偏壓清洗及輔助沉積功能；

　　4）、極限真空；5.0x10-5Pa（從常溫、氮氣破真空狀態(tài)下抽限真空度時長≤4小時）；

　　5）、工作真空度：工作腔體真空度優(yōu)于2.0×10-2Pa（腔體加熱至300℃狀態(tài)下抽至工作真空度時長≤0.5小時）；

　　6）、烘烤溫度max 300℃，常溫狀態(tài)升溫至300℃時長≤20分鐘，溫度測試精度≤±2℃。

　　7）、工件架：運行平穩(wěn)，轉(zhuǎn)速可調(diào)0.5-5rpm；

　　8）、產(chǎn)能約700件/日；