一般常用兩種方法制備臭氧：水處理臭氧滅菌柜紫外線輻射法和電暈放電法。紫外線發(fā)生器用于較小的水量，移動式臭氧滅菌柜相對比較簡單和經濟，但濃度較低，不超過0.1％；產量有限，一般僅為幾克/小時，效率也很低，僅適用于按摩池等小型游泳池。電暈放電法臭氧滅菌柜的效率較高、 臭氧濃度及產量也大，對于每小時循環(huán)流量在10噸以上的游泳池，應采用此類臭氧滅菌柜。
紫外線臭氧滅菌柜 大多數安裝在居民區(qū)小型游泳池和浴池的臭氧滅菌柜用紫外線燈產生臭氧。臭氧通過用波長低于200nm的紫外線照射普通空氣產生。當足夠的紫外線能量加給氧分子，小型臭氧滅菌柜氧分子就分裂為兩個自由的單原子，這些單原子與其它氧分子碰撞產生臭氧分子。
每個
臭氧滅菌柜的產率由以下幾個因素而定：紫外線的能量和波長，紫外線燈周圍的空間，溫度，濕度，以臭氧滅菌柜及空氣中的氧氣含量和通過發(fā)生器的空氣流的體積。如果一個給定系統的結構保持相對穩(wěn)定，影響臭氧濃度的主要因素是空氣流速。
電暈放電法臭氧滅菌柜 干燥的氧氣或空氣通過放電間隙，在高能電磁場下，氧氣被電離成氧原子，氧原子與氧分子碰撞形成臭氧。其產率與氧的濃度、臭氧消毒柜氣體干燥度、電源頻率、介電材料的厚度、介電常數等有直接。臭氧的發(fā)生效率與氣體的干燥度成正比,與氣體中的氧濃度成正比( 臭氧產率在氧濃度為92%時zui高),與電源頻率成正比,與臭氧消毒機放電間隙成反比,與介電層厚度成反比。
