等離子體增強(qiáng)回轉(zhuǎn)爐BTF-1200C-R-PECVD

1.該設(shè)備爐管可360度旋轉(zhuǎn)，管內(nèi)壁有石英擋片幫助粉料翻轉(zhuǎn)有助于燒結(jié)得更均勻；
2.可左右大角度傾斜，方便出放料，傾斜角度在0~35°之間。
3.該款設(shè)備是全自動(dòng)Plasma增強(qiáng)CVD系統(tǒng)（PECVD）,系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)連續(xù)滑動(dòng)溫區(qū)，連續(xù)可控溫度以及Plasma強(qiáng)度等，配備真空系統(tǒng)，可以實(shí)現(xiàn)低壓條件下的實(shí)驗(yàn)，針對(duì)低溫石墨烯、碳納米管生長(zhǎng)等。PECVD系統(tǒng)能使整個(gè)實(shí)驗(yàn)腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū)，輝光均勻等效，

型號(hào)	BTF-1200C-R-PECVD
顯示模式	7"液晶觸屏顯示
zui高溫度	1100℃
升溫速率	10℃/S
控溫精度	±1℃
加熱元件	電阻絲
熱電偶	K型
控溫方式	7"液晶觸屏與工控儀表雙重控溫，模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，人工智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報(bào)警功能。
爐管尺寸	Φ60*420*2+Φ100*360mm
爐管轉(zhuǎn)速	3~13r/min
傾斜角度	0~35°
加熱功率	3KW
射頻功率輸出范圍	0~500W
供氣系統(tǒng)	標(biāo)配三路質(zhì)量流量計(jì)（50/100/200sccm）
供電電源	220V50Hz
通訊接口	USB
外形尺寸	1600mm*650mm*1400mm
設(shè)備凈重	約220KG