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開(kāi)啟式真空管式爐BTF-1200C

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  • 型號(hào) BTF-1200C
  • 品牌
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 合肥市

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更新時(shí)間：2017-02-23 11:24:14瀏覽次數(shù)：1604

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

此套設(shè)備是BTF-1200C的開(kāi)啟式真空管式爐和前端配有可加熱到400℃的預(yù)加熱器，輔助硫粉蒸發(fā)，后端為雙溫區(qū)硫化爐，溫度控制精確，操作簡(jiǎn)便。左端配有法蘭支撐架可將預(yù)熱器和硫化爐分開(kāi)使用。右端可配氣氛微調(diào)裝置，可以準(zhǔn)確的反應(yīng)腔體內(nèi)部的氣體壓力，帶刻度的調(diào)節(jié)閥對(duì)于做低壓CVD非常實(shí)用，重復(fù)性好。

詳細(xì)介紹

 

 

硫粉預(yù)熱器

型號(hào)：BTF-400C

工作溫度：400℃

zui高溫度：1100℃

zui快升溫速率：30℃/min

*升溫速率：10℃/min

控溫方式：智能化30段可編程控制

工作電壓：AC220 V

額定功率：800W

控溫精度：±1℃

加熱元件：電阻絲

尺寸：260*320*500mm

硫化爐

額定功率(KW):3

額定電壓(V):AC220v  50/60 Hz

zui高溫度(℃):1200（1 hour）

持續(xù)工作溫度(℃）：1100

升溫速率（℃/min）：≤50

爐管尺寸（mm）：

高純石英管Φ50×1200mm

加熱區(qū)長(zhǎng)度（mm）：440mm

恒溫區(qū)長(zhǎng)度（mm）:200mm

控溫方式:模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報(bào)警功能

控溫精度(℃):±1

加熱元件:電阻絲

爐子尺寸：590*380*500mm

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