雙爐PECVD

雙溫場滑軌爐

主要特點：

滑軌式快速升溫爐是專為生長石墨烯研制的石墨烯生長爐，也同樣適用于要求升降溫速度比較快的CVD實驗，這款設(shè)備是根據(jù)開啟式真空管式爐改裝而來的，操作時可將實驗需要的恒定高溫直接推到樣品處，使樣品能得到一個快速的升溫速度，同樣也可將高溫的管式爐直接推離樣品處，使樣品直接暴露在室溫環(huán)境下，得到快速的降溫速率。

技術(shù)參數(shù)：

額定功率（KW）：4

額定電壓（V）：AC 208-240V Single Phase，50/60 Hz

溫度（℃）：1200（1 hour）

持續(xù)工作溫度（℃）：1100

升& 降溫速率（℃/S）：≤20

爐管尺寸（mm）：高純石英管Φ50×1900（管徑可選）

加熱區(qū)長度（mm） :230+230

恒溫區(qū)長度（mm）：100+100

控溫方式：模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制具有超溫和斷偶報警功能

控溫精度（℃）：±1

認證標準：

密封系統(tǒng)：爐管兩端配304不銹鋼水冷密封法蘭（包括精密針閥，指針式真空壓力表，法蘭進氣端配置兩個Φ6mm卡套進氣口。

凈重（Kg）：80

射頻電源500W

信號頻率:13.56 MHz±0.005%

功率輸出范圍:L5W-500W

反射功率:200W

射頻輸出接口:50 Ω, N-type, female

功率穩(wěn)定度:±0.1%

諧波分量:≤-50dbc

供電電壓:單相交流（187V-253V）

頻率50/60HZ

整機效率:>=70%

功率因素:>=90%

冷卻方式:強制風冷

供氣系統(tǒng)

工作電壓：185~245V 50HZ

輸出功率：18W

流量計標準量程：100sccm，200sccm，200sccm，500sccm（非特殊以氮氣標定，量程可選）

工作溫度：5~45℃

工作壓差：0.1~0.5MPa

壓力：3MPa

準確度：±1.5% FS

測量范圍：-0.1~0.15 MPa（0.01 MPa/grid）

針閥：316不銹鋼

混氣罐：Φ80×120mm

截止閥：Φ6mm”316不銹鋼針閥

尺寸：600×600×650 mm

低真空機組VAU-02

空氣相對濕度： ≤85%

工作電電壓：220V±10%  50~60HZ

功率：500瓦

抽氣速率：8m³/h

極限真空：4X10-2Pa

實驗真空度：1.0X10-1Pa

容油量： 1.1L

進氣口口徑：KF25

排氣口口徑：KF25

轉(zhuǎn)速：1450rpm

噪音：50dB

外型尺寸：600×600×600mm