詳細(xì)介紹
型號(hào) | AES-4535 AES-4535W | AES-6035 AES-6035W | AES-8035 AES-8035W | AES-A1035W | AES-A1235W | |
溫度范圍 | -45℃~225℃ | -60℃~225℃ | -80℃~225℃ | -100℃~225℃ | -120℃~225℃ | |
制冷量 | -45℃ | 2.5kW | ||||
-60℃ | 2kW | |||||
-80℃ | 1.5kW | |||||
-100℃ | 1.2kW | |||||
-120℃ | 1.2kW | |||||
溫控精度 | ±0.5℃ | ±0.5℃ | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ | |
溫度轉(zhuǎn)換時(shí)間 | -25℃ to 150℃ 約10S 150℃to -25℃ 約20s | -45℃ to 150℃ 約10S 150℃to -45℃ 約20s | -55℃ to 150℃ 約10S 150℃to -55℃ 約15s | -70℃ to 150℃ 約10S 150℃to -70℃ 約20s | -80℃ to 150℃ 約11S 150℃to -80℃ 約20s | |
空氣要求 | 空氣濾清器<5um 空氣含油量:<0.1ppm 空氣溫濕度:5℃~32℃ 0~50%RH | |||||
空氣處理能力 | 7m³/h ~ 25m³/h 壓力5bar~7.6bar | |||||
系統(tǒng)壓力顯示 | 制冷系統(tǒng)壓力采用指針式壓力表實(shí)現(xiàn)(高壓、低壓) 循環(huán)系統(tǒng)壓力采用壓力傳感器檢測(cè)顯示在觸摸屏上 | |||||
控制器 | 西門(mén)子PLC,模糊PID控制算法 | |||||
溫度控制 | 控制出風(fēng)口溫度 | |||||
可編程 | 可編制10條程序,每條程序可編制10段步驟 | |||||
通信協(xié)議 | 以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議 | |||||
設(shè)備內(nèi)部溫度反饋 | 設(shè)備出口溫度、制冷系統(tǒng)冷凝溫度、環(huán)境溫度、壓縮機(jī)吸氣溫度、冷卻水溫度(水冷設(shè)備有) | |||||
溫度反饋 | T型溫度傳感器 | |||||
壓縮機(jī) | 法國(guó)泰康/艾默生 | |||||
蒸發(fā)器 | 套管式換熱器 | |||||
加熱器 | 法蘭式桶狀加熱器 | |||||
制冷附件 | 丹佛斯/艾默生配件(干燥過(guò)濾器、油分離器、高低壓保護(hù)器、膨脹閥、電磁閥) | |||||
操作面板 | 無(wú)錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏,溫度曲線(xiàn)顯示EXCEL 數(shù)據(jù)導(dǎo)出 | |||||
安全防護(hù) | 具有自我診斷功能;相序斷相保護(hù)器、冷凍機(jī)過(guò)載保護(hù);高壓壓力開(kāi)關(guān),過(guò)載繼電器、熱保護(hù)裝置等多種安全保障功能。 | |||||
制冷劑 | 冠亞混合制冷劑 | |||||
外接保溫軟管 | 方便外送保溫軟管1.8m DN32快接卡箍 | |||||
外型尺寸(風(fēng))cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 80*120*185 | 100*150*185 | |
外型尺寸(水)cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 70*100*175 | 80*120*185 | |
風(fēng)冷型 | 采用銅管鋁翅片冷凝方式,冷凝風(fēng)機(jī)采用德國(guó)EBM軸流風(fēng)機(jī) | |||||
水冷型 W | 帶W型號(hào)為水冷型 | |||||
水冷冷凝器 | 板式換熱器(務(wù)必確保冷卻水清潔) | |||||
冷卻水量 at 25℃ | 0.6m³/h G3/8 | 1.2m³/h G3/4 | 1.6m³/h G1 | 2.6m³/h G1 | 3m³/h G1 | |
電源 50HZ max | 3.7kW 220V | 5kW 220V | 5kW 220V | 6.8kW 220V | 7.5kW 220V | |
電源 | 可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相 | |||||
外殼材質(zhì) | 冷軋板噴塑 (標(biāo)準(zhǔn)顏色7035) | |||||
溫度擴(kuò)展 | 高溫到 +300℃ |
光刻機(jī)快速冷卻制冷機(jī)常見(jiàn)問(wèn)題
光刻機(jī)快速冷卻制冷機(jī)常見(jiàn)問(wèn)題
光刻機(jī)快速冷卻制冷機(jī)已廣泛用于工業(yè)領(lǐng)域,而光刻機(jī)快速冷卻制冷機(jī)的常見(jiàn)問(wèn)題主要是因?yàn)檎舭l(fā)溫度(蒸發(fā)器中制冷劑的飽和溫度)通常在-85℃至在85℃時(shí),常規(guī)方法不能使用水作為制冷劑,因?yàn)橹评鋭┑臏囟鹊陀?/font>0℃,并且用于制冷劑熱交換的水的溫度很可能低于0℃。由于凍結(jié),須在常規(guī)單元的制冷劑溶液中添加防凍劑以降低諸如乙二醇溶液之類(lèi)的制冷劑溶液的凝固點(diǎn)。
但是,該方法存在許多問(wèn)題:首先,使用和操作成本增加,并且乙二醇溶液易揮發(fā)。使用一段時(shí)間后,由于揮發(fā)濃度不夠,難以將水溫降低到使用所需的溫度,或者制冷劑溶液的揮發(fā)濃度降低,凝固點(diǎn)增加,并且結(jié)冰。在使用所需的溫度下發(fā)生,導(dǎo)致蒸發(fā)器的熱交換管凍結(jié)并破裂,從而導(dǎo)致故障;
其次,不允許某些用戶(hù)在制冷劑中添加防凍劑(例如乙二醇),例如:芯片工業(yè),由于這些行業(yè)的使用量很高,一旦光刻機(jī)快速冷卻制冷機(jī)制冷劑溶液滲透并泄漏到中,就會(huì)影響使用靠譜性,因此將被直接丟棄,從而導(dǎo)致廢品率提高,產(chǎn)量減少等問(wèn)題。