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無(wú)錫冠亞恒溫制冷技術(shù)有限公司>>元器件高低溫測(cè)試裝置>>蝕刻機(jī)用冷水機(jī)>>AES-4535光刻機(jī)快速冷卻制冷機(jī)常見(jiàn)問(wèn)題

光刻機(jī)快速冷卻制冷機(jī)常見(jiàn)問(wèn)題

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  • 光刻機(jī)快速冷卻制冷機(jī)常見(jiàn)問(wèn)題

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  • 型號(hào) AES-4535
  • 品牌 其他品牌
  • 廠(chǎng)商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 無(wú)錫市

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更新時(shí)間:2021-03-23 15:39:02瀏覽次數(shù):450

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)地 國(guó)產(chǎn) 產(chǎn)品大小 小型
產(chǎn)品新舊 全新 結(jié)構(gòu)類(lèi)型 密封式,立式
結(jié)構(gòu)類(lèi)型 密封式,立式 溫度 常溫冷水機(jī)
元器件高低溫測(cè)試裝置在用于惡劣環(huán)境的半導(dǎo)體電子元件的制造中,IC封裝組裝和工程和生產(chǎn)的測(cè)試階段包括在溫度(-85℃至+ 250℃)下的電子冷熱測(cè)試和其他環(huán)境測(cè)試模擬。光刻機(jī)快速冷卻制冷機(jī)常見(jiàn)問(wèn)題

詳細(xì)介紹

<strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類(lèi)型和機(jī)油要求</strong></strong>

 型號(hào)AES-4535
 AES-4535W
AES-6035
 AES-6035W
AES-8035
 AES-8035W
AES-A1035WAES-A1235W
溫度范圍-45℃~225℃-60℃~225℃-80℃~225℃-100℃~225℃-120℃~225℃
制冷量-45℃2.5kW    
-60℃ 2kW   
-80℃  1.5kW  
-100℃   1.2kW 
-120℃    1.2kW
溫控精度±0.5℃±0.5℃±1℃±1℃±1℃
溫度轉(zhuǎn)換時(shí)間-25℃ to 150℃ 約10S
150℃to  -25℃
約20s
-45℃ to 150℃ 約10S
150℃to  -45℃
約20s
-55℃ to 150℃ 約10S
150℃to  -55℃
約15s
-70℃ to 150℃ 約10S
150℃to  -70℃
約20s
-80℃ to 150℃ 約11S
150℃to  -80℃
約20s
空氣要求空氣濾清器<5um
空氣含油量:<0.1ppm
空氣溫濕度:5℃~32℃  0~50%RH
空氣處理能力7m³/h ~ 25m³/h  壓力5bar~7.6bar
系統(tǒng)壓力顯示制冷系統(tǒng)壓力采用指針式壓力表實(shí)現(xiàn)(高壓、低壓)
循環(huán)系統(tǒng)壓力采用壓力傳感器檢測(cè)顯示在觸摸屏上
控制器西門(mén)子PLC,模糊PID控制算法
溫度控制控制出風(fēng)口溫度
可編程可編制10條程序,每條程序可編制10段步驟
通信協(xié)議以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議
設(shè)備內(nèi)部溫度反饋設(shè)備出口溫度、制冷系統(tǒng)冷凝溫度、環(huán)境溫度、壓縮機(jī)吸氣溫度、冷卻水溫度(水冷設(shè)備有)
溫度反饋T型溫度傳感器
壓縮機(jī)法國(guó)泰康/艾默生
蒸發(fā)器套管式換熱器
加熱器法蘭式桶狀加熱器
制冷附件丹佛斯/艾默生配件(干燥過(guò)濾器、油分離器、高低壓保護(hù)器、膨脹閥、電磁閥)
操作面板無(wú)錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏,溫度曲線(xiàn)顯示EXCEL 數(shù)據(jù)導(dǎo)出
安全防護(hù)具有自我診斷功能;相序斷相保護(hù)器、冷凍機(jī)過(guò)載保護(hù);高壓壓力開(kāi)關(guān),過(guò)載繼電器、熱保護(hù)裝置等多種安全保障功能。
制冷劑冠亞混合制冷劑
外接保溫軟管方便外送保溫軟管1.8m DN32快接卡箍
外型尺寸(風(fēng))cm54*69*13254*69*13275*73*13380*120*185100*150*185
外型尺寸(水)cm54*69*13254*69*13275*73*13370*100*17580*120*185
風(fēng)冷型采用銅管鋁翅片冷凝方式,冷凝風(fēng)機(jī)采用德國(guó)EBM軸流風(fēng)機(jī)
水冷型 W帶W型號(hào)為水冷型
水冷冷凝器板式換熱器(務(wù)必確保冷卻水清潔)
冷卻水量 at 25℃0.6m³/h
G3/8
1.2m³/h
G3/4
1.6m³/h
G1
2.6m³/h
G1
3m³/h
G1
電源 50HZ max3.7kW 220V5kW 220V5kW 220V6.8kW 220V7.5kW 220V
電源可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相
外殼材質(zhì)冷軋板噴塑 (標(biāo)準(zhǔn)顏色7035)
溫度擴(kuò)展高溫到 +300℃

 

<strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類(lèi)型和機(jī)油要求</strong></strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類(lèi)型和機(jī)油要求</strong></strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類(lèi)型和機(jī)油要求</strong></strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類(lèi)型和機(jī)油要求</strong></strong>

光刻機(jī)快速冷卻制冷機(jī)常見(jiàn)問(wèn)題

光刻機(jī)快速冷卻制冷機(jī)常見(jiàn)問(wèn)題

  光刻機(jī)快速冷卻制冷機(jī)已廣泛用于工業(yè)領(lǐng)域,而光刻機(jī)快速冷卻制冷機(jī)的常見(jiàn)問(wèn)題主要是因?yàn)檎舭l(fā)溫度(蒸發(fā)器中制冷劑的飽和溫度)通常在-85℃至在85℃時(shí),常規(guī)方法不能使用水作為制冷劑,因?yàn)橹评鋭┑臏囟鹊陀?/font>0℃,并且用于制冷劑熱交換的水的溫度很可能低于0℃。由于凍結(jié),在常規(guī)單元的制冷劑溶液中添加防凍劑以降低諸如乙二醇溶液之類(lèi)的制冷劑溶液的凝固點(diǎn)。

  但是,該方法存在許多問(wèn)題:首先,使用和操作成本增加,并且乙二醇溶液易揮發(fā)。使用一段時(shí)間后,由于揮發(fā)濃度不夠,難以將水溫降低到使用所需的溫度,或者制冷劑溶液的揮發(fā)濃度降低,凝固點(diǎn)增加,并且結(jié)冰。在使用所需的溫度下發(fā)生,導(dǎo)致蒸發(fā)器的熱交換管凍結(jié)并破裂,從而導(dǎo)致故障;

其次,不允許某些用戶(hù)在制冷劑中添加防凍劑(例如乙二醇),例如:芯片工業(yè),由于這些行業(yè)的使用量很高,一旦光刻機(jī)快速冷卻制冷機(jī)制冷劑溶液滲透并泄漏到中,就會(huì)影響使用靠譜性,因此將被直接丟棄,從而導(dǎo)致廢品率提高,產(chǎn)量減少等問(wèn)題。

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