光刻機制冷機組靠譜操作規(guī)范及注意事項

光刻機制冷機組靠譜操作規(guī)范及注意事項

光刻機制冷機組靠譜操作規(guī)范及注意事項

　　光刻機制冷機組這是可以提供恒定溫度，電流和壓力的冷卻水設備使用時，應注意以下事項。

　　1.在安裝過程中，請檢查機器是否損壞，并選擇合適的位置進行安裝和以后的維護。

　　2.設備的安裝地點須是地板，安裝墊或地基，且水平度應在范圍之內，并且能夠承受設備的工作重量。

　　3.單元應放置在室溫下，單元周圍和上方應有足夠的空間進行日常維護。

　　4.在單元的一端，應保留用于清潔冷凝器管束的抽氣空間，也可以使用門的開口或其他位置合適的孔。

　　5.當設備以較大功率運行時，選擇具有適當管徑的水管，冷卻系統(tǒng)和冷水系統(tǒng)，并正確連接它們。

　　6.對于普通應用，通過蒸發(fā)器和冷凝器的水流速應在范圍之間。

　　7.在負載下，水流均應保持穩(wěn)定。

　　8.所有冷凍水和冷卻水管應按照常規(guī)方法進行設計和安裝。冷凍水泵應位于設備的進水管上，以確保設備中的正壓和流量。配管時，應設置減震管，以確保適當?shù)膹椥?，并在水泵停止時防止蒸發(fā)器的水排出。

　　9.應獨立于組光刻機制冷機組牢固地支撐管道，以避免對組光刻機制冷機組的組件施加壓力。吊架的位置應便于管道對齊。

　　10.為了減少噪音和振動，較好在管道上安裝振動隔離器。

　　11.為了經濟有效地使用第光刻機制冷機組組，建議請水處理專家分析蒸發(fā)器和冷凝器的水質。水質差會導致結垢，影響傳熱，產生腐蝕沉淀，滋生有機物，影響裝置的性能并增加運行和維護成本。

　　12.一般來說，正確的水處理和定期清潔管束可以保持其良好性能。如果不能通過適當?shù)姆椒ǜ纳片F(xiàn)有的水質狀況，則須使管束具有較大的結垢系數(shù)或使用特殊的結構材料。

在操作光刻機制冷機組時，請注意上述事項，這一定會使您受益。