半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置開機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)注意事項(xiàng)

元器件高低溫測(cè)試裝置在用于惡劣環(huán)境的半導(dǎo)體電子元件的制造中，IC封裝組裝和工程和生產(chǎn)的測(cè)試階段包括在溫度（-85℃至+ 250℃）下的電子冷熱測(cè)試和其他環(huán)境測(cè)試模擬。半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置開機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)注意事項(xiàng)

型號(hào)		AES-4535  AES-4535W	AES-6035  AES-6035W	AES-8035  AES-8035W	AES-A1035W	AES-A1235W
溫度范圍		-45℃～225℃	-60℃～225℃	-80℃～225℃	-100℃～225℃	-120℃～225℃
制冷量	-45℃	2.5kW
	-60℃		2kW
	-80℃			1.5kW
	-100℃				1.2kW
	-120℃					1.2kW
溫控精度		±0.5℃	±0.5℃	±1℃	±1℃	±1℃
溫度轉(zhuǎn)換時(shí)間		-25℃ to 150℃ 約10S 150℃to  -25℃ 約20s	-45℃ to 150℃ 約10S 150℃to  -45℃ 約20s	-55℃ to 150℃ 約10S 150℃to  -55℃ 約15s	-70℃ to 150℃ 約10S 150℃to  -70℃ 約20s	-80℃ to 150℃ 約11S 150℃to  -80℃ 約20s
空氣要求		空氣濾清器<5um 空氣含油量:<0.1ppm 空氣溫濕度：5℃～32℃  0～50%RH
空氣處理能力		7m³/h ～ 25m³/h  壓力5bar～7.6bar
系統(tǒng)壓力顯示		制冷系統(tǒng)壓力采用指針式壓力表實(shí)現(xiàn)（高壓、低壓） 循環(huán)系統(tǒng)壓力采用壓力傳感器檢測(cè)顯示在觸摸屏上
控制器		西門子PLC，模糊PID控制算法
溫度控制		控制出風(fēng)口溫度
可編程		可編制10條程序，每條程序可編制10段步驟
通信協(xié)議		以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議
設(shè)備內(nèi)部溫度反饋		設(shè)備出口溫度、制冷系統(tǒng)冷凝溫度、環(huán)境溫度、壓縮機(jī)吸氣溫度、冷卻水溫度（水冷設(shè)備有）
溫度反饋		T型溫度傳感器
壓縮機(jī)		法國(guó)泰康/艾默生
蒸發(fā)器		套管式換熱器
加熱器		法蘭式桶狀加熱器
制冷附件		丹佛斯/艾默生配件（干燥過濾器、油分離器、高低壓保護(hù)器、膨脹閥、電磁閥）
操作面板		無(wú)錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏，溫度曲線顯示EXCEL 數(shù)據(jù)導(dǎo)出
安全防護(hù)		具有自我診斷功能；相序斷相保護(hù)器、冷凍機(jī)過載保護(hù)；高壓壓力開關(guān)，過載繼電器、熱保護(hù)裝置等多種安全保障功能。
制冷劑		冠亞混合制冷劑
外接保溫軟管		方便外送保溫軟管1.8m DN32快接卡箍
外型尺寸（風(fēng)）cm		54*69*132	54*69*132	75*73*133	80*120*185	100*150*185
外型尺寸（水）cm		54*69*132	54*69*132	75*73*133	70*100*175	80*120*185
風(fēng)冷型		采用銅管鋁翅片冷凝方式，冷凝風(fēng)機(jī)采用德國(guó)EBM軸流風(fēng)機(jī)
水冷型 W		帶W型號(hào)為水冷型
水冷冷凝器		板式換熱器（務(wù)必確保冷卻水清潔）
冷卻水量 at 25℃		0.6m³/h G3/8	1.2m³/h G3/4	1.6m³/h G1	2.6m³/h G1	3m³/h G1
電源 50HZ max		3.7kW 220V	5kW 220V	5kW 220V	6.8kW 220V	7.5kW 220V
電源		可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相
外殼材質(zhì)		冷軋板噴塑 （標(biāo)準(zhǔn)顏色7035）
溫度擴(kuò)展		高溫到 +300℃

 

半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置開機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)注意事項(xiàng)

半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置開機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)注意事項(xiàng)

　　操作人員在使用半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置時(shí)，應(yīng)當(dāng)在開機(jī)前做好一些準(zhǔn)備工作，這樣可以避免由于非正常條件下啟動(dòng)引起的半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置故障報(bào)警。

　　操作半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置開機(jī)時(shí)應(yīng)當(dāng)注意以下幾點(diǎn)：

　　1、一般壓縮機(jī)等部件的電壓范圍是不允許超過額定電壓的范圍，如果機(jī)組在運(yùn)行時(shí)出現(xiàn)電壓不穩(wěn)定或是缺相等故障，嚴(yán)重的會(huì)造成壓縮機(jī)、水泵等電機(jī)部件燒毀。所以檢查半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置的供電電壓值是否與設(shè)備標(biāo)示的電壓、頻率一致是非常重要的，另外還需要檢查半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置電控部分如接觸器、傳感器等部件的接線是否牢固。

　　2、檢查完電控系統(tǒng)、水循環(huán)系統(tǒng)，還需要檢查制冷系統(tǒng)，這里一般是查看半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置上的高壓壓力表和低壓壓力表，通過上面顯示的壓力值我們可以判定半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置的制冷劑及系統(tǒng)是否正常，如果出現(xiàn)壓力值為零或是高低壓超出正常范圍，那就需要排查故障后再啟動(dòng)半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置。

　　3、我們檢查完半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置的電路以后，還要檢查水路系統(tǒng)（可能包含冷卻水系統(tǒng)、冷凍水系統(tǒng)以及供水水源等）是否運(yùn)轉(zhuǎn)正常，如水循環(huán)管路上的閥門是否已經(jīng)打開等等。

　　4、確保半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置的長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行需要操作人員更多地了解半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置的相關(guān)知識(shí)，如部件構(gòu)成及運(yùn)行原理、規(guī)范操作流程和保養(yǎng)知識(shí)等等，當(dāng)然如果能有專人來(lái)負(fù)責(zé)操作和維護(hù)那樣就更好了。

設(shè)備操作人員應(yīng)當(dāng)仔細(xì)閱讀半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置的使用說明以及半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置廠家所提供的技術(shù)培訓(xùn)內(nèi)容，按步驟操作及維護(hù)保養(yǎng)半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置，這樣才能確保半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置穩(wěn)定地運(yùn)行。