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在線微量濕度異動變送器

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產(chǎn)品型號Pura Plus

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更新時間：2021-08-11 09:53:39瀏覽次數(shù)：351次

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珠海歐伯特測控技術(shù)有限公司

經(jīng)營模式：代理商

商鋪產(chǎn)品：52條

所在地區(qū)：廣東珠海市

聯(lián)系人：盧玨（銷售）

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產(chǎn)品簡介

新型的PuraPlus是密析爾儀表針對晶圓工業(yè)對于設(shè)備尺寸和指標(biāo)的需求變化而特殊設(shè)計的

詳細(xì)介紹

新型的 Pura Plus 是密析爾儀表針對晶圓工業(yè)對于設(shè)備尺寸和指標(biāo)的需求變化而特殊設(shè)計的。Pura Plus 是一款在線微量濕度異動變送器，多路安裝在半導(dǎo)體工廠內(nèi)通向生產(chǎn)線的氣體供應(yīng)最末端，用來監(jiān)測超純惰性氣體的應(yīng)用。工廠內(nèi)氣體系統(tǒng)分布復(fù)雜，涉及到很多分支、節(jié)點(diǎn)和使用點(diǎn)。因此在常規(guī)的濕度監(jiān)測點(diǎn)后，會由于微量的泄漏、低效的系統(tǒng)設(shè)計、元件故障或過程出錯等等原因?qū)е聺駳鉂B入，影響下游使用。而安裝在分布系統(tǒng)中的 Pura Plus 能夠提供快速的響應(yīng)指示，在 20 ppb 濕氣級別下
1 ppb 的異動的響應(yīng)時間小于1 分鐘。

亮點(diǎn)

對 ppb 級別濕度異動的快速響應(yīng)
低濕 ppb 級別的靈敏度 (<1 ppb)
多點(diǎn)測量安裝的全新概念
維護(hù)要求低
信號燈式的狀態(tài)指示
可設(shè)置警告和報警點(diǎn)
Modbus 網(wǎng)絡(luò)兼容
遠(yuǎn)程控制界面的多通道軟件
(UHP) 超純氣體的管線檢測

技術(shù)指標(biāo)

響應(yīng)速度	<1 分鐘 20 ppb 濕氣變動1 ppb 的響應(yīng)時間
濕度量程	1 ppb to 20,000 ppm
壓力范圍	0 to 10 bar
耐壓等級	300 bar
泄漏測試	0-9 mbar l/s
工作流量范圍	1 ~ 10 l/min
工作溫度	5 ~ 40°C
存儲溫度	30 ~ 70°C
電源	20 ~ 28 V DC
功耗	5 W
外部保險絲等級	500 mA 快熔型
數(shù)據(jù)輸出	Modbus ASCII 兩線 RS485
警告和報警輸出	2 路
電壓	40 V DC
電流	100 mA
氣體接觸的材質(zhì)
外殼材質(zhì)	不銹鋼 AISI 316L, 內(nèi)表面電拋光 <10 Ra
傳感器結(jié)構(gòu)	氧化鋁電解質(zhì), 上層鍍金保護(hù), 下層鋁層
內(nèi)部容積	4.4cm³
重量	450g
氣路接口	1/4" m VCR
電氣接口	9 - 針 D - 型 m 接口
電磁兼容性	EN50081-2 和 EN50082-2