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半導(dǎo)體膜厚儀

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產(chǎn)品型號(hào)BA100

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更新時(shí)間：2018-05-15 16:16:02瀏覽次數(shù)：2183次

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膜厚儀

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深圳市金東霖科技有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

半導(dǎo)體膜厚儀是利用X射線熒光（XRF）進(jìn)行鍍層厚度測(cè)量和材料分析，提高過(guò)程和質(zhì)量控制。

詳細(xì)介紹

半導(dǎo)體膜厚儀是利用X射線熒光（XRF）進(jìn)行鍍層厚度測(cè)量和材料分析，提高過(guò)程和質(zhì)量控制。
采用新改進(jìn)的基本參數(shù)法，無(wú)論是無(wú)標(biāo)準(zhǔn)片測(cè)量還是有標(biāo)準(zhǔn)片測(cè)量，都能快速并且準(zhǔn)確的獲得測(cè)量結(jié)果。為了簡(jiǎn)化樣品放置，X射線源和數(shù)字半導(dǎo)體接收器置于了 BA100 的底部，從而可以采用射線向上的測(cè)量技術(shù)。
可以勝任測(cè)量傳統(tǒng)的鍍層厚度測(cè)量?jī)x器由于X-射線熒光強(qiáng)度不夠而無(wú)法測(cè)量到的結(jié)構(gòu)。

半導(dǎo)體膜厚儀硬件配置（均為美國(guó)標(biāo)準(zhǔn)配）：
* 射線管：微聚焦型W靶鈹窗X射線管功率50W
* 激發(fā)電源：儀器可調(diào)節(jié)式高壓電源30-40-50KV高壓激發(fā)電源
* 檢測(cè) 器：數(shù)字半導(dǎo)體接收器
* 濾波器：鎳（Ni）濾波;鋁（AI）濾波；和空氣濾波三種
* 準(zhǔn) 直器：4個(gè)（自動(dòng)司服轉(zhuǎn)化功能）
圓形4個(gè): 0.1φ, 0.2φmm,0.3φmm，1.5φmm
* 攝像系統(tǒng)：彩色CCD攝像系統(tǒng)。
* 整體外觀尺寸：長(zhǎng)*寬450*450mm 整體重量：32KG
樣品的測(cè)量臺(tái)：XY軸可移動(dòng)樣品臺(tái)
樣品室，室內(nèi)尺寸：長(zhǎng)*寬*高=360*380*240
* 搭載自動(dòng)制作生成圖文測(cè)量檢驗(yàn)報(bào)告書(shū)
* 戴爾E390商務(wù)電腦及19寸液晶顯示器（戴爾原裝電腦具體配置隨機(jī)性）
智能英特爾奔騰 G630處理器；OptiPLex(TM) 390MT機(jī)箱
1GB（1x1GB）Non-ECC DDR3 1333MHZ SDRAM Memory
500GB 7200 RPM 3.5 SATA Hard Drive，DeLL IN1930 19英寸顯示器
* 工具配置箱一件，樣品環(huán)二個(gè)，樣品膜一卷（可使用數(shù)年）