鄭州長城科工貿有限公司

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鄭州長城科貿真空低溫泵系統(tǒng)操作注意事項

2014-11-3  閱讀(887)

  

在低溫泵系統(tǒng)中,有時為了減少表面出氣,需要對工作室壁用液氮冷卻。但此時,在解釋電離規(guī)讀數(shù)時就應注意。即使室壁不冷卻,規(guī)在低溫系統(tǒng)內的位置很重要,特別是否直接對著泵。由于電離規(guī)測量的是氣體密度而不是壓強,若規(guī)內氣體溫度為T1,而系統(tǒng)內溫度為T2,則電離規(guī)壓強讀數(shù)是Pi=P(T1/T2)1/2,這里P是系統(tǒng)內的壓力。

 

烘烤低溫泵真空系統(tǒng)時應特別注意,由于低溫泵怕熱輻射,當系統(tǒng)烘烤到450℃時,可能導致泵的溫度升高到超過工作范圍,此時可以在泵和系統(tǒng)之間插入水冷擋板作為熱輻射屏蔽,但這會嚴重地減小抽速??梢园褤醢逯瞥珊婵緯r旋轉到屏蔽位置,結束后旋轉回去的類似于蝶閥的結構。檔板在屏蔽位置時,系統(tǒng)的抽速減小了75%

 

在抽氣系統(tǒng)操作時,系統(tǒng)的操作者應確保在工作過程中低溫泵的熱載荷不超過額定指標,尤其應特別注意泵*級吸附板上的熱載荷大小。為了確保低溫泵的熱載荷不超過指標(尤其是*級上的熱負載),應采用某種形式的障板來減少射到*級上的輻射用量。除了真空室壁附近300K的輻射外,*級還接受來自諸如鍍膜室、加熱燈絲或濺射放電等熱輻射源。在許多過程中熱載荷可高達100150W,此時就容易超過功率為3540W的膨脹機的容量。因而需要加某種形式的障板來減少射到*級上的輻射通量。簡單的辦法是用反射的非冷卻障板。如果還不夠的話,則需要采用帶冷卻的人字形障板。這種障板可以用水冷卻也可以用液氮來冷卻。

 

低溫泵在連續(xù)運轉中,尤其是在吸附劑被氦飽和時,應特別注意防止瞬時斷電,因為即使是短時間停電,氦氣也會從吸附劑中釋放出來,而且會把真空器壁上的大量熱量傳到抽氣表面上去。這時即使系統(tǒng)已經(jīng)粗抽到20Pa也解決不了問題,因為那也不足以阻止連續(xù)的熱傳導現(xiàn)象發(fā)生。



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