因過氧化氫本身具有的氧化還原的作用從而具有了殺菌的功能，特別是對厭氧芽孢桿菌的殺滅效果較好。過氧化氫的作用原理是通過復雜的化學反應解離具有高活性的羥基，用來攻擊細胞的成分，包括破壞細胞膜，脂類，蛋白質以及DNA。通過“閃蒸”將液態(tài)的過氧化氫轉化為H2O2干霧，此過程可以直接在常溫常濕的環(huán)境下有效的進行，不需要對其進行除濕等其他的預處理。過氧化氫干霧被均勻地引入到封閉的空間，其內表面完全的暴露在過氧化氫干霧中，形成大約為1μm的過氧化氫膜，附著在有可能寄居了的微生物的表面，微生物自身會作為核心被形成的微冷凝所包裹，并迅速在此過程中被殺滅。
 

　　過氧化氫滅菌器主要有以下的幾個特點：
 

　　1、可以直接在室溫條件下進行消毒滅菌；
 

　　2、過氧化氫干霧消毒滅菌的周期比較短，只需要5到7小時，而蒸汽消毒滅菌的周期在需要8到10個小時，環(huán)氧乙烷氣體的消毒滅菌周期需要12到18小時；
 

　　3、使用過氧化氫干霧消毒滅菌是不會對操作人員造成危害的，也不會給環(huán)境造成污染，因其最終的殘留物為水與氧氣；
 

　　4、蒸汽滅菌使腔室產生很大的壓差變化，長期反復受壓，抽真空，會縮短設備的使用壽命，而采用過氧化氫干霧滅菌，因壓力、溫度條件的改善，使設備的運行壽命和維修周期得以延長；
 

　　5、如果是長期的使用蒸汽去消毒滅菌，那么濕熱的氣體會比較容易破壞腔體內表面的不銹鋼的鈍化膜，但是使用過氧化氫干霧去消毒滅菌則可以很少的損害到腔體內表面的不銹鋼鈍化膜。
 

　　6、采用移動式(帶腳輪)的過氧化氫干霧(VHP)發(fā)生器，能對多臺的設備配套滅菌，可以降低設備的初投資費用；
 

　　7、對過濾器HEPA的穿透性好(玻璃纖維)；
 

　　8、不會影響到其他的物品，比如裝置，電器或者潔凈室墻板等。