百級(jí)無塵烘箱測(cè)控系統(tǒng)及安全保護(hù)措施
百級(jí)無塵烘箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影
后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非
易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。
百級(jí)無塵烘箱測(cè)控系統(tǒng)及安全保護(hù)措施：
1、控制儀表：進(jìn)口數(shù)顯溫度控制器，PID調(diào)節(jié)，控制精度0.1℃；
2、溫度測(cè)量傳感器：Pt100鉑電阻；
3、控制系統(tǒng)：主要電器件均采用斯耐德、歐姆龍等進(jìn)口元?dú)饧?/div>
4、超溫保護(hù)儀表：獨(dú)立于工作室主控制的超溫保護(hù)系統(tǒng)，保證試驗(yàn)品的安全；
百級(jí)無塵烘箱產(chǎn)品特點(diǎn)
●結(jié)構(gòu)材料：內(nèi)外全部采用SUS304#不銹鋼板制作無塵無污染，耐酸堿腐蝕環(huán)保，美觀大方
●保溫材料：使用高密度進(jìn)口巖棉，雙層保溫層，爐門采用高溫硅膠緊迫，保溫、密封性能好。
●溫控系統(tǒng)：采用RKC智能型溫控器PID自動(dòng)演算，配合SSR固態(tài)斷電輸出，確保控制溫度。
●運(yùn)風(fēng)方式：左出風(fēng),右邊回風(fēng)循環(huán);特殊風(fēng)道設(shè)計(jì),爐內(nèi)溫差均勻性好。
●安全裝置：電機(jī)過載保護(hù)，漏電保護(hù)，相序保護(hù)，雙重防超溫保護(hù)裝置；所有發(fā)熱管與爐體外殼隔絕緣保證設(shè)備使用安全。
