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壓力傳感器的發(fā)展歷程

　　現(xiàn)代壓力傳感器以半導(dǎo)體傳感器的發(fā)明為標(biāo)志,而半導(dǎo)體傳感器的發(fā)展可以分為四個(gè)階段

　　(1) 發(fā)明階段(1945-1960年):這個(gè)階段主要是以1947年雙極性晶體管的發(fā)明為標(biāo)志。此后,半導(dǎo)體材料的這一特性得到較廣泛應(yīng)用。史密斯(C.S.Smith) 與1945 發(fā)現(xiàn)了硅與鍺的壓阻效應(yīng),即當(dāng)有外力作用于半導(dǎo)體材料時(shí),其電阻將明顯發(fā)生變化。依據(jù)此原理制成的壓力傳感器是把應(yīng)變電阻片粘在金屬薄膜上,即將力信號(hào)轉(zhuǎn)化為電信號(hào)進(jìn)行測(cè)量。此階段zui小尺寸大約為1cm。

　　(2) 技術(shù)發(fā)展階段(1960-1970年):隨著硅擴(kuò)散技術(shù)的發(fā)展,技術(shù)人員在硅的(001) 或(110) 晶面選擇合適的晶向直接把應(yīng)變電阻擴(kuò)散在晶面上,然后在背面加工成凹形,形成較薄的硅彈性膜片,稱(chēng)為硅杯。這種形式的硅杯傳感器具有體積小、重量輕、靈敏度高、穩(wěn)定性好、成本低、便于集成化的優(yōu)點(diǎn),實(shí)現(xiàn)了金屬- 硅共晶體,為商業(yè)化發(fā)展提供了可能。

　　(3) 商業(yè)化集成加工階段(1970-1980年):在硅杯擴(kuò)散理論的基礎(chǔ)上應(yīng)用了硅的各向異性的腐蝕技術(shù),擴(kuò)散硅傳感器其加工工藝以硅的各項(xiàng)異性腐蝕技術(shù)為主,發(fā)展成為可以自動(dòng)控制硅膜厚度的硅各向異性加工技術(shù),主要有V形槽法、濃硼自動(dòng)中止法、陽(yáng)極氧化法自動(dòng)中止法和微機(jī)控制自動(dòng)中止法。由于可以在多個(gè)表面同時(shí)進(jìn)行腐蝕,數(shù)千個(gè)硅壓力膜可以同時(shí)生產(chǎn),實(shí)現(xiàn)了集成化的工廠加工模式,成本進(jìn)一步降低。【IND880P1】?jī)x表

　　(4) 微機(jī)械加工階段(1980年-今):上世紀(jì)末出現(xiàn)的納米技術(shù),使得微機(jī)械加工工藝成為可能。通過(guò)微機(jī)械加工工藝可以由計(jì)算機(jī)控制加工出結(jié)構(gòu)型的壓力傳感器,其線度可以控制在微米級(jí)范圍內(nèi)。利用這一技術(shù)可以加工、蝕刻微米級(jí)的溝、條、膜,使得壓力傳感器進(jìn)入了微米階段。

變送器系列：IND110，WM0800

稱(chēng)重控制儀表系列：IND331，IND131，IND245，IND231，IND236

IND231、IND236稱(chēng)重終端
IND231G10001000A00，IND231G10002000A00，IND231G10003000A00，IND231G10004000A00，IND231G10001000R00 ，IND231G10002000R00，IND231G10003000R00 ，IND231G10004000R00，IND236H10001000N00 ，IND236H10002000N00 ，IND236H10003000N00，IND236H10004000N00 ，IND236H10001000R00 ，IND236H10002000R00 ，IND236H10003000R00 ，IND236H10004000R00 ，IND220-1002 IND221-1000

XK3123 Panther稱(chēng)重終端已停產(chǎn)，替代IND331
面板式稱(chēng)重儀表
原型號(hào)           替代型號(hào)
PTPN-1000N       33P1-00000-000-000
PTPN-1020N       33P1-0000B-000-000
PTPN-1400N       33P1-00000-D00-000
PTPN-1600N       33P1-00000-B00-000
PTPN-1800N       33P1-00000-A00-000
PTPN-1900N       33P1-00000-P00-000

漂白蠟 7036

另一種粘接劑是用漂白蠟 7036。這是一種很好使用的加速度計(jì)粘接劑，用來(lái)固定像ENDEVCO2988系列的產(chǎn)品。我們有很多種方法可以用來(lái)改變加速度計(jì)粘接的固定方式，其中一種方法就是用重復(fù)校準(zhǔn)來(lái)獲取實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)。

  在連續(xù)的高頻振動(dòng)下漂白蠟有良好的傳送性和支撐性，可使用的zui大溫度是70℃。超過(guò)70℃時(shí)候，石蠟就會(huì)變軟從而影響頻率響應(yīng)。

粘接時(shí)使用的方法是加熱需要粘接的地方使溫度到達(dá)200℃，當(dāng)石蠟變軟時(shí)粘上加速度計(jì)即可，然后等石蠟*冷卻凝固，這時(shí)就可以固定加速度計(jì)。

漂白蠟可以*的使用，但要注意的是必須遠(yuǎn)離丙酮。使用前清理干凈粘接的表面，不要有多于的雜質(zhì)影響到粘接加速度計(jì)。

雙面膠帶

雙面膠帶有良好的溫度使用范圍，它類(lèi)似于氰基丙烯酸鹽粘合劑可以直接粘合。使用溫度范圍在－18℃~+93℃，適合于751－100，751－000在18°C ~+93°C時(shí)，頻率響應(yīng)能達(dá)到4KHZ。

優(yōu)點(diǎn)：

1.使用方便

2.溫度使用范圍寬

缺點(diǎn)：

1.振幅范圍有限

2.在位置比較高的時(shí)候粘接加速度計(jì)時(shí)，會(huì)限制加速度計(jì)的電纜長(zhǎng)度

熱粘接劑

熱粘接劑溫度使用的范圍在－18℃~＋93℃，高于93℃時(shí)，熱粘接劑將會(huì)失去它的硬度，頻率響應(yīng)將會(huì)受到影響。在粘接的方法上熱粘接劑需要更多的注意，特別是在高頻使用的時(shí)候，在小于2HZ時(shí)候我們可以正常的使用。熱粘接劑的頻率范圍將會(huì)隨著測(cè)試溫度的減小而增加。這種粘接方法已經(jīng)被廣泛的使用，因?yàn)樗捎糜诤芏嗖牧?，我們可以使用無(wú)線膠槍?zhuān)?lèi)似于ENDEVCO31849的膠槍?zhuān)瑢⒏菀渍辰右恍╇y以粘接的位置。

優(yōu)點(diǎn)：

1.使用方便

2.粘接迅速

3.粘接時(shí)間快，容易清除

缺點(diǎn)：

考慮到粘接的時(shí)間十分迅速，如果要確保良好的頻率響應(yīng)，這就要求用戶(hù)必須十分迅速的粘接加速度計(jì)，當(dāng)粘接劑被涂到安裝面上以后必須盡快的粘接，而且必須注意的是安裝時(shí)溫度不能超過(guò)＋93℃。