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半自動(dòng)GAN/GaAs外延片清洗機(jī)

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更新時(shí)間：2018-05-15 16:21:46瀏覽次數(shù)：8312次

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半自動(dòng)GAN/GaAs外延片清洗機(jī)
※ 控制模式: 手動(dòng)控制模式 自動(dòng)控制模式。
※清洗規(guī)格：2 inch ,4 cassette/Batch, 25 Pcs/cassette； 4 inch，2 cassette/ Batch，25 Pcs/cassette；
※ 工藝說(shuō)明:手動(dòng)方式實(shí)現(xiàn)放件，取件，槽體間傳送件

 

半自動(dòng)GAN/GaAs外延片清洗機(jī)  
※ 控制模式: 手動(dòng)控制模式   自動(dòng)控制模式。
※清洗規(guī)格：2 inch ,4 cassette/Batch, 25 Pcs/cassette；   4 inch，2 cassette/ Batch，25 Pcs/cassette；
※  工藝說(shuō)明:手動(dòng)方式實(shí)現(xiàn)放件，取件，槽體間傳送件。
※ 設(shè)備形式: 室內(nèi)放置型。
※ 腐蝕工藝自動(dòng)補(bǔ)藥液保證了工藝槽在運(yùn)行過(guò)程中濃度的穩(wěn)定性；
※ 工藝參數(shù)（溫度，時(shí)間，DIW水清洗模式、時(shí)間可調(diào)）手動(dòng)由觸摸屏界面可設(shè)定；
※  機(jī)臺(tái)前方為清洗工作區(qū)域，機(jī)臺(tái)后上方為電器和氣路布置區(qū)域，后下方為液路布置區(qū)域。
※  藥液供給及補(bǔ)液方式:分體式CDS自動(dòng)供液系統(tǒng)
※ DI槽配有在線式水質(zhì)檢測(cè)裝置；
※  配有分體式廢液回收系統(tǒng)；
※ 強(qiáng)排風(fēng)風(fēng)通道：￠200mm×1；排風(fēng)量：1500m3/h×2

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