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硅片顯影臺(tái)

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更新時(shí)間：2018-05-15 16:21:46瀏覽次數(shù)：9578次

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硅片顯影臺(tái)
※ 用于晶片的顯影工藝，
※ 控制模式: 手動(dòng)控制模式 自動(dòng)控制模式，
※ 清洗能力：2-8英寸晶片。
※ 需甲方提供花籃。
※ 設(shè)備形式: 室內(nèi)放

 

硅片顯影臺(tái)
※ 用于晶片的顯影工藝，
※ 控制模式: 手動(dòng)控制模式   自動(dòng)控制模式，
※ 清洗能力：2-8英寸晶片。
※ 需甲方提供花籃。
※ 設(shè)備形式: 室內(nèi)放置型。
※ 潔凈度：千級潔凈室 。
※ 工藝說明:手動(dòng)方式實(shí)現(xiàn)放片（工件），取片（工件），槽體間傳送片。
※ 工藝參數(shù)（溫度，時(shí)間，DI水清洗流量，時(shí)間）手動(dòng)設(shè)定。
※ 設(shè)備臺(tái)面布局按用戶要求配制。

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