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更新時(shí)間:2018-05-15 16:21:46瀏覽次數(shù):2275次
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芯片清洗機(jī)晶片清洗機(jī)
1設(shè)備名稱:硅芯片清洗機(jī)晶片清洗機(jī)
2 清洗規(guī)格:2 inch ,4 cassette/Batch, 25 Pcs/cassette; 4 inch,2 cassette/ Batch,25 Pcs/cassette;
3 工藝說明:手動方式實(shí)現(xiàn)放件,取件,槽體間傳送件。
4 設(shè)備形式: 室內(nèi)放置型。
5 腐蝕工藝自動補(bǔ)藥液保證了工藝槽在運(yùn)行過程中濃度的穩(wěn)定性;
6 工藝參數(shù)(溫度,時(shí)間,DIW水清洗模式、時(shí)間可調(diào))手動由觸摸屏界面可設(shè)定;
7 機(jī)臺前方為清洗工作區(qū)域,機(jī)臺后上方為電器和氣路布置區(qū)域,后下方為液路布置區(qū)域。
8 DI槽配有在線式水質(zhì)檢測裝置;
9 配有分體式廢液回收系統(tǒng);
10藥液供給及補(bǔ)液方式: 分體式CDS自動供液系統(tǒng)
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