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快速退火爐電阻爐/馬弗爐/退火爐

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產(chǎn)品型號YRTP

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更新時間：2023-09-30 09:39:23瀏覽次數(shù)：1026次

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上海煜志機電設備有限公司

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)地	國產(chǎn)	產(chǎn)品新舊	全新

YRTP快速退火爐是一款多功能的真空氣氛燒結(jié)爐，既可以用于材料的快速升降溫退火，也可用于化學氣相沉積（CVD）法，在鎳或銅箔上制備石墨烯的制備，稍加調(diào)整，一機多用，被廣泛的應用各研究院所。

詳細介紹

產(chǎn)品介紹

YRTP快速退火爐是一款多功能的真空氣氛燒結(jié)爐，既可以用于材料的快速升降溫退火，也可用于化學氣相沉積（CVD）法，在鎳或銅箔上制備石墨烯的制備，稍加調(diào)整，一機多用，被廣泛的應用各研究院所。

加熱系統(tǒng)采用環(huán)形紅外短波加熱器，快升溫速率可達300℃/S，測溫采用精準的S型貴金屬熱電偶直接測量式樣表面，使加熱工件（式樣)的溫區(qū)更加均勻準確，控制界面采用大尺寸觸摸屏，傻瓜智能式操作，可預設置十條溫度曲線?？刂茢?shù)學模型采用*的PID自學習模糊雙閉環(huán)控制模式，使控溫精度在快速升溫的恒溫狀態(tài)仍能保持在±3℃，經(jīng)過*多次的各種試樣試驗驗證，已被應用于半導體器件研發(fā)及生產(chǎn)等領(lǐng)域，廣泛滿足離子注入后的快速退火，歐姆接觸快速合金，硅化物合金退火，氧化物生長，銅銦鎵硒光伏應用中的硒沉積及其它快速熱處理工藝的要求。

YRTP快速退火爐技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品型號	YRTP-1100
爐體結(jié)構(gòu)	雙層殼體結(jié)構(gòu)，高精度移動平臺
額定溫度（℃）	1100
使用溫度（℃）	≤1000
溫場均勻性（℃）	±3℃
溫度狀態(tài)工藝時間（S)	2~100（100~1000℃）
快升溫速（℃/S）	200
降溫速率（℃/S）	1~200（通氮氣，速率更快）
溫度控制模式	智能模糊全閉環(huán)PID控制
操作方式	觸摸屏控制
超高溫狀態(tài)檢測	軟件檢測出溫度信息出現(xiàn)高溫異常時，切斷主回路
觸摸屏尺寸	7"LED
大功率（kW）	15
額定電壓	AC380~400V，50HZ（60Hz定制）
傳感器類型	S型單鉑銠
反應腔室內(nèi)徑尺寸	Φ100X200
式樣有效空間	4"
真空系統(tǒng)	選配
預留真空抽口	KF16
進出氣接口	Φ6卡套
尺寸重量	長1000×深600×高600mm；凈重：約50kg