Horiba SEC-E440J金屬密封質(zhì)量流量控制器

Horiba SEC-E440J金屬密封質(zhì)量流量控制器

耐腐蝕，精度1%

型號：SEC-E440J，NH3, 7SLM；SEC-E440J，SiH4，500sccm

E440J系列已經(jīng)停產(chǎn)，用N112系列替代：N112MGM。

 Horiba SEC-E440J金屬密封質(zhì)量流量控制器電磁控制閥金屬密封質(zhì)量流量控制器，又稱流量計，可用于腐蝕性干燥氣體，在光伏中PECVD中有光伏應(yīng)用。

金屬密封;
電磁控制閥;
可優(yōu)化響應(yīng)時間;
自動歸零功能;
集成報警功能;
閥電壓檢測功能;
電磁控制閥可*關(guān)閉;

 Horiba SEC-E440J金屬密封質(zhì)量流量控制器

氣體接觸部件材料：SUS 316L不銹鋼，PTFE(聚四氟乙烯)
精度：<±1.0% F.S.
線性度：<± 0.5% F.S.
重復(fù)性：<± 0.2% F.S.
流量控制范圍：2 ~ * F.S.
響應(yīng)速度：< 1秒

 
滿量程流量
SEC-E440J: 10sccm ~ 10slpm
SEC-E450J: 20/30slpm

本公司同時提供美國AALBORG、日本KOFLOC、日本HORIBASTEC質(zhì)量流量計、質(zhì)量流量控制器、數(shù)字式質(zhì)量流量控制器、耐腐蝕質(zhì)量流量控制器