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    首先將需要檢測臭氧濃度的氣體以恒定的流速導入檢測氣室，由于臭氧對254nm波長的紫外光有特征吸收，紫外光束穿過通有臭氧的臭氧檢測管路后光強產(chǎn)生了衰減，符合朗伯-比爾定律：

    式中，Pο為入射光束的強度；P為光束穿過通有臭氧的檢測管后的強度；L為通過臭氧的光程長度，即檢測氣室長度；c為臭氧質(zhì)量濃度；k為臭氧對紫外光的吸收系數(shù)。由此即可求出氣體濃度。

    其中，吸光系數(shù)k是表示一種氣體對確定波長的光的吸收特征常數(shù)。臭氧對254nm光的吸光系數(shù)文獻報道值見表1。k值在標準狀況下(0℃，)為±  (以e為底)或±  (以10為底)。由于它隨溫度變化而改變，在其他狀態(tài)下可用氣體狀態(tài)方程式進行換算.

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紫外吸光光度法

    光譜分析法是指在光的作用下，A20B-0065-0002通過測量物質(zhì)產(chǎn)生的發(fā)射光、吸收光或散射光的波長和強度來進行分析的方法。在光譜分析中，依據(jù)物質(zhì)對光的選擇性吸收而建立起來的分析方法稱為吸光光度法。

    該法利用臭氧對254nm波長的紫外線特征吸收的特性，依據(jù)朗伯一比爾定律測量紫外線通過臭氧的光強變化來檢測臭氧濃度。該法不但適用于檢測氣體中臭氧濃度，也可以檢測水中溶存的臭氧濃度，已被我國作為環(huán)境空氣中測定臭氧的標準方法。

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