詳細(xì)介紹
相對塵埃粒子計數(shù)器讀數(shù)掃描法而言,DOP法檢漏法成本較高,A20B-0084-C102操作較復(fù)雜;優(yōu)點(diǎn)是可以彌補(bǔ)粒子計數(shù)器法檢漏的上述不足,檢漏準(zhǔn)確性高。故國外廣泛采用DOP法檢漏;高效過濾器使用過程中應(yīng)注意的幾個問題:
1、對于高效過濾器外聘承辦商負(fù)責(zé)做的完整性和合格性測試數(shù)據(jù),企業(yè)應(yīng)該建立
書面規(guī)程來說明或描述審核內(nèi)容。
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A20B-0084-C141
A20B-0094-0021
A20B-1000-0030
A20B-1000-0061
A20B-1000-0080
A20B-0801-C012
A20B-0807-C155
2、應(yīng)定期檢測KLC高效過濾器兩邊的壓差,設(shè)定高效過濾器壓差的上下限,特別是
清洗室內(nèi)去熱原隧道中加熱區(qū)和冷卻區(qū)之間的HEPA過濾器。
3、去熱原隧道和烘箱應(yīng)做高效過濾器的DOP法檢漏。在能夠做出合理解釋的情況
下,可以采用其他方法對這些隧道和烘箱中熱區(qū)的高效過濾器做檢漏。
A20B-0065-0002
A20B-0070-0030
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A20B-0801-C012
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