5500M全自動型原子力顯微鏡 電子顯微鏡

5500M全自動型原子力顯微鏡特點

1. 自動化功能

高度集成自動化功能追求高效率檢測

降低檢測中的人為操作誤差

 4英寸自動馬達臺

自動更換懸臂功能

2. 可靠性

排除機械原因造成的誤差

大范圍水平掃描

采用管型掃描器的原子力顯微鏡，針對掃描器圓弧運動所產(chǎn)生的曲面，通常通過軟件校正方式獲得平面數(shù)據(jù)。但是，用軟件校正方式不能*消除掃描器圓弧運動的影響，圖片上經(jīng)常發(fā)生扭曲效果。
AFM5500M搭載了新研發(fā)的水平掃描器，可實現(xiàn)不受圓弧運動影響的準確測試。 

樣品 ：硅片上的非晶硅薄膜

5500M全自動型原子力顯微鏡高精角度測量

普通的原子力顯微鏡所采用的掃描器，在豎直伸縮的時候，會發(fā)生彎曲（crosstalk）。這是圖像在水平方向產(chǎn)生形貌誤差的直接原因。
AFM5500M中搭載的全新掃描器，在豎直方向上不會發(fā)生彎曲（crosstalk） ，可以得到水平方向沒有扭曲影響的正確圖像。

樣品 : 太陽能電池(由于其晶體取向具有對稱結(jié)構(gòu))

* 使用AFM5100N（開環(huán)控制）時

3. 融合性

親密融合其他檢測分析方式

通過SEM－AFM的共享坐標樣品臺，可實現(xiàn)在同一視野快速的觀察分析樣品的表面形貌，結(jié)構(gòu)，成分，物理特性等。

SEM-AFM在同一視野觀察實例（樣品：石墨烯/SiO2），是AFM5500M拍攝的形貌像（AFM像）和電位像（KFM像）分別和SEM圖像疊加的應(yīng)用數(shù)據(jù)。

通過分析AFM圖像可以判斷，SEM對比度表征石墨烯層的厚薄。

石墨烯層數(shù)不同導(dǎo)致表面電位（功函數(shù)）的反差。

SEM圖像對比度不同，可以通過SPM的高精度3D形貌測量和物理特性分析找到其原因。

與其他顯微鏡以及分析儀器聯(lián)用正在不斷開發(fā)中。