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西格瑪光機5nm反饋平臺

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更新時間:2021-07-19 17:20:50瀏覽次數(shù):125

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產(chǎn)品簡介

西格瑪光機5nm反饋平臺

詳細介紹

產(chǎn)品簡介:

利用編碼器的位置信息,通過反饋控制實現(xiàn)對目標位置的定位、定位的重復(fù)性和高分辨率的位置保持。

工作臺有20mm和50mm兩種行程。

FS-SPX_p.jpg

 

 規(guī)格

 零件編號

 fs-1020spx

 fs-1050spx

 JP價格[¥]

450,000

550,000

 

 

 機械規(guī)格

 行程[mm]

20

50

 臺面尺寸[mm]

60×60

120×120

 絲杠[mm]

 滾珠絲杠直徑φ4,導(dǎo)程1mm

 滾珠絲杠直徑φ6,導(dǎo)程1mm

導(dǎo)軌形式

 十字滾輪

 主要材料

 鋁合金

 表面處理

 黑色陽極氧化

 電機類型

 □28mm5相步進電機

 自重[公斤]

0.5

1.6

 

 精確規(guī)格

定位精度[nm]1

5

5

 重復(fù)定位精度[nm]1

+/- 10

+/- 10

 承重[N]

 49(5kgf)

 98(10kgf)

 運行平行度[μm]

10

10

 速度[毫米/秒]

5

5

 

 傳感器

 極限位置傳感器

 

 原傳感器

 無

 接近原點傳感器

 無

配件

 信號循環(huán)

 2μm

 刻度電纜(2)

 2米

 1:內(nèi)置刻度讀取的最小分辨率和位置重復(fù)性精度。

 刻度電纜直接從舞臺上出來。 如果2米或更長的電纜,請分別準備“擴展電纜

 都是必需的。


外形圖
■FS-1020SPX

Zoom
■FS-1050SPX

Zoom


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