詳細(xì)介紹
簡(jiǎn)介
- LS線性平臺(tái)提供亞微米精度,通過(guò)使用閉環(huán)直流伺服電機(jī)和采用高分辨率旋轉(zhuǎn)編碼器進(jìn)行定位反饋,從而獲得精確控制。可選的線性編碼器能夠提供更大的定位精度。
- LS 線性平臺(tái)采用交叉滾柱滑塊,精密導(dǎo)螺桿和零背隙小型齒輪直流伺服電機(jī),實(shí)現(xiàn)平穩(wěn)和精確的運(yùn)動(dòng)。這些設(shè)備提供從50mm到300mm的精確行程??梢詥为?dú)使用,也可以垂直或水平放置使用,并且可以承載高達(dá)4.5kg的載荷。
- 裝置具有內(nèi)置限位開(kāi)關(guān),并且可以使用多種導(dǎo)螺桿選項(xiàng)進(jìn)行配置。在標(biāo)準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)編碼器配置中,使用ASI的MS-2000控制器,可以獲得50到100 nm范圍內(nèi)的分辨率。也可以獲得重復(fù)性系數(shù)小于300 nm RMS。
- 可選的線性編碼器提供10nm的刻度分辨率,每刻度的刻度精度為±3 μm。
- MS-2000控制器提供自動(dòng)間隙校正,接受工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)命令,并接受來(lái)自主機(jī)的RS-232或USB通訊。