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倒置顯微鏡用電動(dòng)XY平臺(tái)
為客戶設(shè)計(jì)和制造的顯微鏡自動(dòng)化 XY 平臺(tái)。用于提供高分辨率和高度可重復(fù)的方法來(lái)控制顯微鏡平臺(tái)的 XY 位置。同時(shí)，電動(dòng) XY 平臺(tái)可以與 Z 軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)系列結(jié)合使用。適用于多種品牌和型號(hào)的顯微鏡，實(shí)現(xiàn)完整的、全自動(dòng)化 XYZ 定位。軸承通過(guò)使用采用高分辨率旋轉(zhuǎn)編碼器進(jìn)行定位反饋的電機(jī)來(lái)實(shí)現(xiàn)精確控制。軸承上的超硬耐磨涂層可減少摩擦并增強(qiáng)防腐蝕保護(hù)。電動(dòng)XY平臺(tái)由于其剛體結(jié)構(gòu)具有更高的負(fù)載能力。
特點(diǎn)
- 精確定位和高重復(fù)性
- 多種行程可供選擇
- 多種螺距絲杠可供選擇
- 可選配 Z 軸壓電平臺(tái)（取決于具體型號(hào)）
- 可選配線性編碼器用于高精度定位
- 可選配延展臺(tái)翼提供更多空間
- 背光 LCD 顯示屏顯示 X、Y 和 Z 坐標(biāo)
- “歸零"和“主頁(yè)"按鈕用于簡(jiǎn)單的單機(jī)操作
- 符合人體工程學(xué)的緊湊型桌面控制單元
型號(hào)：RM-1250 Gen II （XY 自動(dòng)平臺(tái)）
標(biāo)準(zhǔn)配置規(guī)格
- XY 軸行程范圍 125 mm x 125 mm
- XY 軸分辨率（編碼器步長(zhǎng)） 22 nm
- XY 軸 RMS 重復(fù)性 < 700 nm
- XY軸速度 7mm/sec
- 推薦負(fù)載（*可根據(jù)要求提供更高的負(fù)載）5kg
- *為 6.35 mm 螺距絲杠
型號(hào)：MS-2000 Flat-top （平頂XY自動(dòng)平臺(tái)）
標(biāo)準(zhǔn)配置規(guī)格
- XY 軸行程范圍 120 mm x 75 mm
- XY 軸分辨率（編碼器步長(zhǎng)） 22 nm
- XY 軸 RMS 重復(fù)性 < 700 nm
- XY軸速度 7mm/sec
- 推薦負(fù)載(*可根據(jù)要求提供更高的負(fù)載) 5kg
- *為 6.35 mm 螺距絲杠
型號(hào)：MS-2000 （XYZ 自動(dòng)平臺(tái)）
標(biāo)準(zhǔn)配置規(guī)格
- XY 軸行程范圍 120 mm x 110 mm
- XY 軸分辨率（編碼器步長(zhǎng)） 22 nm
- XY 軸 RMS 重復(fù)性 < 700 nm
- XY軸速度 7mm/sec
- 推薦負(fù)載(*可根據(jù)要求提供更高的負(fù)載) 5kg
- *為 6.35 mm 螺距絲杠
型號(hào)：PZ-2000 （帶壓電Z軸平臺(tái)的 XYZ 自動(dòng)平臺(tái)）
標(biāo)準(zhǔn)配置規(guī)格
- XY 軸行程范圍 120 mm x 110 mm
- XY 軸分辨率（編碼器步長(zhǎng)） 0.088 μm
- XY 軸絲杠精度 0.25 μ/mm
- XY 軸 RMS 重復(fù)性 < 0.7 μm
- XY 軸速度 7 mm/sec
- Z 軸壓電平臺(tái)，壓電行程范圍 (+/- 5%) 150 μm或 300 μm 或500 μm
型號(hào)：PZ-2000FT（帶壓電 Z 軸平臺(tái)的 XYZ 自動(dòng)平頂平臺(tái)）
標(biāo)準(zhǔn)配置規(guī)格
- XY 軸行程范圍 120 mm x 75 mm 或更多
- XY 軸分辨率（編碼器步長(zhǎng)） 0.088 μm
- XY 軸絲杠精度 0.25 μ/mm
- XY 軸 RMS 重復(fù)性 < 0.7 μm
- XY 軸速度 7 mm/sec
- Z 軸壓電平臺(tái)，壓電行程范圍 (+/- 5%) 150 μm或 300 μm 或500 μm
型號(hào)：MS-2500 （XY平頂加長(zhǎng)行程平臺(tái)）
標(biāo)準(zhǔn)配置規(guī)格
- XY 軸行程范圍 250 mm x 75 mm
- XY 軸分辨率（典型）* 22 nm
- XY 軸 RMS 重復(fù)性（典型）* < 700 nm
- XY軸速度* 7 mm /sec
- *顯示為 6.35 mm 螺距絲杠
型號(hào)：PZM-2000（帶壓電 Z 軸平臺(tái)的 OEM 手動(dòng)平臺(tái)）
標(biāo)準(zhǔn)配置規(guī)格
- XY 軸行程范圍 標(biāo)準(zhǔn) OEM 平臺(tái)
- Z 軸行程范圍 (± 5%) 150 μm、300 μm 和 500 μm（100 μm 和 200 μm 版本可選）
- Z 軸分辨率 1.5 nm
- Z 軸速度，穩(wěn)定時(shí)間為 5 毫米/秒（每次移動(dòng)約 10 毫秒）
- Z軸共振頻率（空載）> 1 KHz
- Z軸頂板承重500克
- Z 軸頂板剛度 (± 20%) 3 N/μm
- Z 軸頂板面內(nèi)傾斜（典型）10 μrad
型號(hào)：US-2000 XY （超穩(wěn)定平頂 XY 自動(dòng)平臺(tái)）
標(biāo)準(zhǔn)配置規(guī)格
- 平臺(tái)尺寸 283 mm x 238 mm x 52 mm
- XY 行程范圍 50 mm x 50 mm
- XY RMS 重復(fù)性（旋轉(zhuǎn)編碼器）<1.5 um
- 推薦承載能力 5 公斤
- *帶 1.59 mm 節(jié)距絲杠
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