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北京歐波同光學(xué)技術(shù)有限公司 |
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更新時(shí)間:2023-11-09 09:11:51瀏覽次數(shù):1926
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Ilion II 697 Gatan氬離子拋光系統(tǒng) 主要技術(shù)特點(diǎn):
氬離子拋光系統(tǒng)采用兩支具有低能聚集的小型潘寧離子槍?zhuān)商峁┛焖偃岷偷膾伖庑Ч?。低?00eV的離子束提供更柔和的拋削效果,用于樣品的拋光。新型低能聚焦電極使得離子束的直徑在幾乎整個(gè)加速電壓范圍內(nèi)都保持恒定。每個(gè)槍都可準(zhǔn)確獨(dú)立地將離子束對(duì)中在樣品上,從而產(chǎn)生*的離子拋光速率。在操作過(guò)程中,可隨時(shí)改變槍的角度。通過(guò)控制氣體流量可將槍電流變化范圍控制在0~100mA之間。在觸摸屏上通過(guò)手動(dòng)或者自動(dòng)方式調(diào)節(jié)氣體流量使每個(gè)槍的工作電流得到優(yōu)化。
集成的10英寸彩色觸摸屏計(jì)算機(jī)可對(duì)Ilion II的所有操作參數(shù)進(jìn)行*控制。此界面不僅可以設(shè)定所有參數(shù)并能夠監(jiān)控拋光過(guò)程。所有的操作參數(shù)還可以存為配方,調(diào)用配方可獲得高精度重復(fù)實(shí)驗(yàn)。
渦輪分子泵搭配兩級(jí)隔膜泵保證了超潔凈環(huán)境。Gatan的氣動(dòng)控制Whisperlock技術(shù)能實(shí)現(xiàn)快速樣品交換(< 1分鐘),省去了換樣過(guò)程中必須*泄真空至大氣的煩惱。
1. 氣鎖裝置實(shí)現(xiàn)快速樣品交換、始終保持潔凈的高真空狀態(tài)
2. 10英寸觸摸屏可對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行*控制與監(jiān)測(cè)
3. 配方模式的控制界面,用于一鍵操作
4. 質(zhì)量流量控制器提供精確和可重復(fù)的氬離子電流的控制
5. 槍電壓范圍為100V到8000V的三元(陰極、陽(yáng)極與聚焦極)構(gòu)造潘寧離子槍
6. 每個(gè)槍的拋光角度可調(diào)范圍為-10度~10度,增量為0.1度
7. 扇形拋光角度可變且可程序化,范圍從10度~90度
8. 離子槍無(wú)需零件更換,壽命超過(guò)30,000小時(shí)
9. Gatan的樣品/擋板配置,裝樣簡(jiǎn)單,再次拋光位置準(zhǔn)確
10. *的離子束調(diào)制功能,可進(jìn)行扇形拋光和平面拋光
11. 潔凈的真空系統(tǒng),分子泵與隔膜泵搭配
12. 操作簡(jiǎn)單,維護(hù)方便
Ilion II 697 Gatan氬離子拋光系統(tǒng) 主要技術(shù)參數(shù):
1、 離子槍: 兩個(gè)配有稀土磁鐵的三元構(gòu)造(陰極、陽(yáng)極與聚焦極)潘寧離子槍?zhuān)劢闺x子束設(shè)計(jì),高性能無(wú)耗材
2、 拋光角度: +10° 到 -10° ,每個(gè)離子槍可獨(dú)立調(diào)節(jié)
3、 離子束能量: 100 V 到 8.0 kV
4、 離子束流密度: 10 mA/cm2 峰值
5、 拋光速度: 300 μm/h(8.0 kV條件下對(duì)于硅試樣)
4.2樣品臺(tái)
6、 樣品裝載: Ilion的樣品擋板, 裝樣簡(jiǎn)單,再次拋光位置準(zhǔn)確,可重復(fù)使用,配合Sample Stub可直接轉(zhuǎn)至SEM中觀察
7、 樣品旋轉(zhuǎn): 0.5到6 rpm連續(xù)可調(diào)
8、 束流調(diào)制: *的離子束調(diào)制功能,可進(jìn)行扇形截面拋光(扇形角度為10到90度可調(diào))和平面拋光
9、樣品觀察: 數(shù)碼變焦顯微鏡,配有PC及Digital Micrograph軟件采集圖像,通過(guò)Gatan Digital Micrograph軟件可進(jìn)行實(shí)時(shí)成像(300x–2,200x)與圖像存儲(chǔ)和分析
10、液氮冷臺(tái):配置液氮冷臺(tái),樣品低溫度可達(dá)-120°C,有效減少離子束對(duì)樣品造成的損傷
4.3真空系統(tǒng)
11、干泵系統(tǒng):兩級(jí)隔膜泵支持80升/秒的渦輪分子泵
12、壓力: 5x10-6 托基本壓力,8.5x10-5托工作壓力
13、真空規(guī): 冷陰極型,用于主樣品室;固體型,用于前級(jí)機(jī)械泵
14、樣品空氣鎖: *的Whisperlok設(shè)計(jì),樣品更換時(shí)間<1min,無(wú)需破樣品室真空
4.4用戶界面
15、10 英寸觸摸屏: 操作簡(jiǎn)單,且能夠*程序化控制所有參數(shù)可進(jìn)行配方操作。
16、配方操作模式:自定義不同的加工參數(shù)組合,實(shí)現(xiàn)一鍵操作。