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Leica EM ACE600 高真空鍍膜機(jī) 電子顯微鏡

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更新時(shí)間：2023-10-26 09:02:38瀏覽次數(shù)：561次

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圓派科學(xué)儀器（上海）有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

Leica EM ACE600是的多用途高真空薄膜沉積系統(tǒng)，設(shè)計(jì)來(lái)根據(jù)您的FE-SEM和TEM應(yīng)用的需要生產(chǎn)非常薄的，細(xì)粒度的和導(dǎo)電的金屬和碳涂層，用于分辨率分析。

詳細(xì)介紹

Leica EM ACE600 高真空鍍膜機(jī)可以通過(guò)以下方法進(jìn)行配置:濺射、碳絲蒸發(fā)、碳棒蒸發(fā)、電子束蒸發(fā)和輝光放電。

適用于Leica EM ACE600高真空鍍膜機(jī)的Leica EM VCT真空冷凍傳輸系統(tǒng)，是無(wú)污染的低溫掃描電鏡樣本制備的理想解決方案。

重現(xiàn)的結(jié)果
運(yùn)行全自動(dòng)化過(guò)程，輔以參數(shù)和協(xié)議設(shè)置。集成的石英測(cè)量和自動(dòng)化3軸載物臺(tái)移動(dòng)

容易清洗
可拆卸的門(mén)、卷簾、內(nèi)部屏蔽、來(lái)源和載物臺(tái)，確保制備高品質(zhì)樣本的環(huán)境清潔。

小巧緊湊
設(shè)計(jì)緊湊，占地面積小，節(jié)省實(shí)驗(yàn)室空間。

操作簡(jiǎn)便
直觀的觸摸屏，松推配合的連接器和免工具的目標(biāo)變更，舒適的前門(mén)鎖定。

自定義配置
配備了儀器，可滿足您的具體需求。

低溫鍍膜
真空低溫傳輸系統(tǒng)適應(yīng)將室溫鍍膜機(jī)轉(zhuǎn)換成低溫鍍膜機(jī)。樣本能在低溫下于受保護(hù)的環(huán)境中進(jìn)行鍍膜和傳輸。

Leica EM ACE600 可以配置如下鍍膜方式:

. 金屬濺射鍍膜
. 碳絲蒸發(fā)鍍膜
. 碳棒蒸發(fā)鍍膜（帶有熱阻蒸發(fā)鍍膜選配件）
. 電子束蒸發(fā)鍍膜
. 輝光放電
. 連接VCT樣品交換倉(cāng)，與徠卡EM VCT配套實(shí)現(xiàn)冷凍鍍膜，冷凍斷裂，雙復(fù)型，冷凍干燥和真空冷凍傳輸

碳絲蒸發(fā)的新紀(jì)元
厚達(dá)40nm的碳膜可以被精確設(shè)定并準(zhǔn)確獲得，通過(guò)脈沖碳絲蒸發(fā)，結(jié)合連續(xù)膜厚監(jiān)控（石英片膜厚控制），和*的軟件控制來(lái)實(shí)現(xiàn)。碳膜因此實(shí)現(xiàn)高度可重復(fù)性和均勻性。
得益于可拆卸式玻璃門(mén)，擋板和樣品室屏蔽內(nèi)壁，鍍膜源和樣品臺(tái)，樣品室內(nèi)部清潔工作非常簡(jiǎn)便。

傾斜式鍍膜源配合旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)，可獲得區(qū)域更大，更均勻的鍍膜。根據(jù)實(shí)驗(yàn)需求，可以同時(shí)加裝2種鍍膜靶源。

內(nèi)置膜厚監(jiān)控系統(tǒng)，石英片置于樣品臺(tái)正中，可獲得更加準(zhǔn)確的鍍膜結(jié)果。

三軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)-無(wú)需破真空就可調(diào)整樣品臺(tái)高度角度。