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詳細(xì)介紹
快速檢漏輔助系統(tǒng)一
通過(guò)外加大抽速真空泵，達(dá)到對(duì)抽空工件快速抽空的目的。適用于體積相對(duì)較大的工件的檢漏。
外接抽空系統(tǒng)由氦質(zhì)譜檢漏儀控制，無(wú)需額外的操作。提高效率2-4倍。
適用于：電子封裝，電力絕緣套管，真空波紋管，熱交換器，真空閥門(mén)等體積相對(duì)較大，需要快速檢漏的產(chǎn)品。
氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種，一種為常規(guī)檢漏，另一種為逆擴(kuò)散檢漏。逆擴(kuò)散原理如圖所示。逆擴(kuò)散檢漏是把被檢件接在分子泵出氣口一端，漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進(jìn)入安裝在泵的進(jìn)氣口端的質(zhì)譜管內(nèi)而被檢測(cè)。這一檢漏方式是基于分子泵對(duì)不同質(zhì)量的氣體具有不同壓縮比(氣體在分子泵出氣口壓強(qiáng)與進(jìn)氣口壓強(qiáng)之比)即利用不同氣體的逆擴(kuò)散程度不同程度而設(shè)計(jì)的。
快速檢漏輔助系統(tǒng)一
通過(guò)外加大抽速真空泵，達(dá)到對(duì)抽空工件快速抽空的目的。適用于體積相對(duì)較大的工件的檢漏。
外接抽空系統(tǒng)由氦質(zhì)譜檢漏儀控制，無(wú)需額外的操作。提高效率2-4倍。
適用于：電子封裝，電力絕緣套管，真空波紋管，熱交換器，真空閥門(mén)等體積相對(duì)較大，需要快速檢漏的產(chǎn)品。
氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種，一種為常規(guī)檢漏，另一種為逆擴(kuò)散檢漏。逆擴(kuò)散原理如圖所示。逆擴(kuò)散檢漏是把被檢件接在分子泵出氣口一端，漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進(jìn)入安裝在泵的進(jìn)氣口端的質(zhì)譜管內(nèi)而被檢測(cè)。這一檢漏方式是基于分子泵對(duì)不同質(zhì)量的氣體具有不同壓縮比(氣體在分子泵出氣口壓強(qiáng)與進(jìn)氣口壓強(qiáng)之比)即利用不同氣體的逆擴(kuò)散程度不同程度而設(shè)計(jì)的。
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