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伯東企業(yè)（上海）有限公司
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更新時間：2021-10-06 17:03:55瀏覽次數(shù)：287次
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上海伯東代理美國考夫曼KRI 射頻離子源 RFICP 380 屬于大面積射頻離子源, 離子束流: 1500 mA; 離子動能: 100-1200 V; 中和器: LFN 2000.離子束可聚焦, 平行, 散射.采用射頻技術(shù)產(chǎn)生離子, 無需電離燈絲, 工藝時間更長.離子源采用模塊化設計, 方便清潔/ 保養(yǎng)/......
美國 KRI 射頻離子源 RFICP 380 特性:
1. 大面積射頻離子源
2. 提供高密度離子束, 滿足高工藝需求
3. 采用射頻技術(shù)產(chǎn)生離子, 無需電離燈絲, 工藝時間更長, 更適合時間長的工藝要求
4. 離子束流: >1500 mA
5. 離子動能: 100-1200 V
6. 中和器: LFN 2000
7. 采用自動控制器, 一鍵自動匹配
8. RF Generator 可根據(jù)工藝自行選擇離子濃度, EX: 1kW or 2kW
9. 離子源采用模塊化設計, 方便清潔/ 保養(yǎng)/ 維修/ 安裝
10. 柵極材質(zhì)鉬和石墨, 堅固耐用
11. 通入氣體可選 Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, others
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