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美國(guó) KRI 射頻離子源 RFICP 系列

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更新時(shí)間：2021-10-06 17:05:19瀏覽次數(shù)：291次

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伯東企業(yè)（上海）有限公司

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上海伯東代理美國(guó)考夫曼博士設(shè)立的考夫曼公司 KRI 射頻離子源, 離子束可選聚焦, 平行, 散射.離子束流: 100 mA~1500mA; 離子動(dòng)能: 100-1200 V; 中和器: LFN 2000. 采用射頻技術(shù)產(chǎn)生離子, 無(wú)需電離燈絲, 工藝時(shí)間更長(zhǎng), 更適合時(shí)間長(zhǎng)的工藝要求. 提供高密度離子束, 滿足高工藝需求.離子源采用模塊化設(shè)計(jì), 方便清潔/ 保養(yǎng)/ 維修/ ......

詳細(xì)介紹

美國(guó) KRI 射頻離子源 RFICP 系列技術(shù)參數(shù)：

射頻離子源 RFICP 系列技術(shù)參數(shù):

型號(hào)	RFICP 40	RFICP 100	RFICP 140	RFICP 220	RFICP 380
Discharge	RFICP 射頻	RFICP 射頻	RFICP 射頻	RFICP 射頻	RFICP 射頻
離子束流	>100 mA	>350 mA	>600 mA	>800 mA	>1500 mA
離子動(dòng)能	100-1200 V	100-1200 V	100-1200 V	100-1200 V	100-1200 V
柵極直徑	4 cm Φ	10 cm Φ	14 cm Φ	20 cm Φ	30 cm Φ
離子束	聚焦, 平行, 散射
流量	3-10 sccm	5-30 sccm	5-30 sccm	10-40 sccm	15-50 sccm
通氣	Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他
典型壓力	< 0.5m Torr	< 0.5m Torr	< 0.5m Torr	< 0.5m Torr	< 0.5m Torr
長(zhǎng)度	12.7 cm	23.5 cm	24.6 cm	30 cm	39 cm
直徑	13.5 cm	19.1 cm	24.6 cm	41 cm	59 cm
中和器	LFN 2000