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伯東企業(yè)（上海）有限公司
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更新時間：2021-10-06 17:09:26瀏覽次數(shù)：271次
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上海伯東代理美國考夫曼博士設立的考夫曼公司 KRI 霍爾離子源 eH 3000 大型真空系統(tǒng), 與友廠大功率離子源對比, eH 3000 是目前市場上, 提供離子束流的無柵網(wǎng)離子源.尺寸: 直徑= 9.7 高= 6放電電壓 / 電流: 50-300V / 20A操作氣體: Ar, Xe, Kr, O2, N2, 有機前體
伯東 KRI 霍爾離子源 eH 3000 特性：
1.水冷 - 加速冷卻
2.可拆卸陽極組件 - 易于維護; 維護時,限度地減少停機時間; 即插即用備用陽極
3.寬波束高放電電流 - 高電流密度; 均勻的蝕刻率; 刻蝕效率高; 高離子輔助鍍膜 IAD 效率
4.多用途 - 適用于 Load lock / 超高真空系統(tǒng); 安裝方便
5.高效的等離子轉(zhuǎn)換和穩(wěn)定的功率控制
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