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美國 KRI 射頻離子源 RFICP 140

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更新時間:2021-10-06 19:10:02瀏覽次數(shù):258次

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經(jīng)營模式:代理商

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所在地區(qū):上海上海市

聯(lián)系人:朱珠 (銷售助理)

產(chǎn)品簡介

上海伯東代理美國考夫曼博士設(shè)立的考夫曼公司 KRI 射頻離子源 RFICP 140 是一款緊湊的有柵網(wǎng)離子源, 離子束可選聚焦, 平行, 散射.離子束流: 600 mA; 離子動能: 100-1200 V; 中和器: LFN 2000. 采用射頻技術(shù)產(chǎn)生離子, 無需電離燈絲, 工藝時間更長, 更適合時間長的工藝要求. 提供高密度離子束, 滿足高工藝需求.離子源采用模塊化設(shè)計......

詳細介紹

美國 KRI 射頻離子源 RFICP 140 技術(shù)參數(shù):

伯東 KRI 射頻離子源 RFICP 140 技術(shù)參數(shù):

型號

RFICP 140

Discharge

RFICP 射頻

離子束流

>600 mA

離子動能

100-1200 V

柵極直徑

14 cm Φ

離子束

聚焦, 平行, 散射

流量

5-30 sccm

通氣

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

典型壓力

< 0.5m Torr

長度

24.6 cm

直徑

24.6 cm

中和器

LFN 2000

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