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考夫曼離子源中空陰極 Hollow Cathodes

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更新時(shí)間：2021-12-28 15:15:36瀏覽次數(shù)：412次

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上海伯東美國(guó) KRI 考夫曼離子源提供中空陰極 e-Mission Hollow Cathodes 結(jié)構(gòu)緊湊, 重量輕, 可以安裝在離子源或真空系統(tǒng)的側(cè)面, 相對(duì)于燈絲的模式有更長(zhǎng)的使用壽命, 這在運(yùn)行忌諱突然中斷的復(fù)雜工藝時(shí), 是非常有意義的.

詳細(xì)介紹

<strong>考夫曼離子源中空陰極 Hollow Cathodes</strong>

離子源中空陰極 e-Mission Hollow Cathodes
上海伯東美國(guó) KRI 考夫曼離子源提供中空陰極 e-Mission Hollow Cathodes 結(jié)構(gòu)緊湊, 重量輕, 可以安裝在離子源或真空系統(tǒng)的側(cè)面, 相對(duì)于燈絲的模式有更長(zhǎng)的使用壽命, 這在運(yùn)行忌諱突然中斷的復(fù)雜工藝時(shí), 是非常有意義的. 而且離子源中空陰極 Hollow cathode 輻射的熱量更低, 可以使襯底獲得更低的溫度,對(duì)于對(duì)溫度敏感的襯底材料而言, 使用中空陰極更有優(yōu)勢(shì).

離子源中空陰極 Hollow Cathodes 型號(hào)

Model	HFx	SHC1000	DSHC1000
Cathode	Yes	Yes	Yes
Neutralizer	Yes	Yes	Yes
Orientation	Vertical / Horizontal	Vertical / Horizontal	Vertical / Horizontal
Regulation	Emission	Emission	Emission
Operational gas	None	Inert	Inert
Process gases	Inert & reactive	Inert & reactive	Inert & reactive
Power Controller	FC100x	e- Mission Power Pack	e- Mission Power Pack

Model	MHC1000	LHC1000
Cathode	Yes	Yes
Neutralizer	Yes	Yes
Orientation	Vertical / Horizontal	Vertical / Horizontal
Regulation	Emission	Emission
Operational gas	Inert	Inert
Process gases	Inert & reactive	Inert & reactive
Power Controller	e- Mission Power Pack	e- Mission Power Pack

1978 年 Dr. Kaufman 博士在美國(guó)創(chuàng)立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研發(fā)生產(chǎn)考夫曼離子源, 霍爾離子源和射頻離子源. 美國(guó)考夫曼離子源歷經(jīng) 40 年改良及發(fā)展已取得多項(xiàng). 離子源廣泛用于離子清洗 PC, 離子蝕刻 IBE, 輔助鍍膜 IBAD, 離子濺射鍍膜 IBSD 領(lǐng)域, 上海伯東是美國(guó)考夫曼離子源中國(guó)總代理.

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