HVA 三位真空閘閥 21700 系列

美國(guó) HVA 真空閥門-美國(guó)大真空閥門制造商。美國(guó)HVA*真空閥門，超過50年的高真空和超高真空閥門設(shè)計(jì)與制造。主營(yíng)高真空閘閥，高真空角閥廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、鍍膜、激光、科研、工業(yè)等領(lǐng)域。上海伯東是美國(guó)HVA 真空閥門在中國(guó)地區(qū)總代理商。
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美國(guó) HVA 三位真空閘閥 21700 系列
HVA 三位真空閘閥 21700 系列適用于刻蝕、 CVD、真空鍍膜和其他需要壓力控制工藝的行業(yè)。HVA 三位真空閘閥與上游質(zhì)量流量控制器一起使用時(shí)，提供異常壓力控制功能，該真空閘閥也適用于從粗真空到高真空的平穩(wěn)過渡。HVA 三位真空閘閥采用兩個(gè)氣動(dòng)電磁閥和一個(gè)空氣壓力調(diào)節(jié)器控制閥門的3種開啟方式：一個(gè)電磁閥控制閥門的*關(guān)閉和*開啟，另一個(gè)電磁閥用于控制和調(diào)節(jié)閥門的任意開啟位置。21700 系列三位真空閘閥廣泛應(yīng)用于低溫泵、渦輪分子泵、離子泵及其他對(duì)清潔度要求高、低除氣的高真空行業(yè)。.
HVA 三位真空閘閥 21700 系列產(chǎn)品特點(diǎn)
1. 機(jī)械預(yù)設(shè)、遙控過渡閥位
2. 三個(gè)位置都有指示器
3. 標(biāo)準(zhǔn)或者定制法蘭
4. 至少一百萬(wàn)使用周期
5. 任意位置安裝
HVA 三位真空閘閥 21700 系列技術(shù)參數(shù)：

閥門材質(zhì)：
閥門主體	304不銹鋼
焊接波紋管軸封	AM-350
驅(qū)動(dòng)軸和驅(qū)動(dòng)銷	硬質(zhì)不繡鋼
閥門密封方式：
高真空	氟橡膠
漏率	<2×10-9 mbar l/s
差壓關(guān)閉	1 bar
真空：
壓力范圍	高真空1x10-9 mbar
漏率	< 2x10-9  mbar l/S
差壓關(guān)閉	1 bar (任意位置)
開啟前大壓力	≤ 30 mbar
烘烤溫度（不含電磁閥）：
閥門主體	150 °c
驅(qū)動(dòng)方式	氣動(dòng) 60 °c
使用壽命：100,000啟閉次數(shù)
公稱通徑：DN100-320 mm

HVA 三位真空閘閥 21700 系列訂貨號(hào)及2D,3D展示圖

DN		Model	KF/ISO-F		ISO-K		CF-F*
mm	inch	Number	3 (Bolted)		6 (Clamped)		0 or 4 (Conflat)
100	4.00	21712-040_R	2D	3D	2D	3D	2D	3D
160	6.00	21712-060_R	2D	3D	2D	3D	2D	3D
200	8.00	21712-080_R	2D	3D	2D	3D	2D	3D
250	10.00	21712-100_R	2D	3D	-		2D	3D
320	12.00	21712-120_R	2D	3D	-		2D	3D

 

HVA 三位真空閘閥 21700 系列部件圖

美國(guó) HVA 真空閥門-美國(guó)大真空閥門制造商。美國(guó)HVA*真空閥門，超過50年的高真空和超高真空閥門設(shè)計(jì)與制造。主營(yíng)高真空閘閥，高真空角閥廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、鍍膜、激光、科研、工業(yè)等領(lǐng)域。上海伯東是美國(guó)HVA 真空閥門在中國(guó)地區(qū)總代理商。
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