Surface Particle QV 表面塵埃粒子計(jì)數(shù)器

Surface  Particle  QV  表面塵埃粒子計(jì)數(shù)器

Surface  Particle  QV  表面塵埃粒子計(jì)數(shù)器用于測量各種高潔凈度要求的產(chǎn)品，光學(xué)鏡片組件，液晶面板及超凈微環(huán)境受控的半導(dǎo)體機(jī)臺等表面所附著的塵埃粒子的粒徑大小及單位面積內(nèi)的數(shù)量。

本儀器的核心零部件（光學(xué)傳感器）及控制器等采用美國萊特浩斯所生產(chǎn)的組件來保證該產(chǎn)品的測量精度。

本儀器外殼采用SUS316L不銹鋼制作，并經(jīng)表面化處理。彩色觸摸液晶屏顯示操作，檢測光學(xué)傳感器采用美國進(jìn)口整機(jī)，吸氣的氣泵為旋片式進(jìn)口氣泵，并可通過流量傳感器來調(diào)節(jié)氣泵的運(yùn)行流量，使其保持在一個(gè)穩(wěn)定的檢測流量范圍內(nèi)，表面測試探頭根椐德國同類產(chǎn)品進(jìn)行改進(jìn)，并配有防靜電軟管與主機(jī)連接，其用于排氣及吸氣過濾的囊式過濾器，內(nèi)部濾材為德國進(jìn)口，從而保證儀器的檢測精度及運(yùn)行穩(wěn)定性。

主要技術(shù)性能參數(shù)

1. 檢測精度：0.3微米（0.1微米可訂制）

2. 檢測通道：0.3，0.5，0.71.0，3.0，5.0，7.0，10.0微米八通道

（可定制：0.1，0.15，0.2，0.25，0.3，0.5，0.7，1.0微米）

3. 計(jì)數(shù)效率：0.3微米百分之五十±20%（一粒徑通道），0.5微米±10%（二粒徑通道）

4. 采樣流量：28.3L每分鐘±5，可通過觸摸屏控制自行調(diào)整

5.采樣時(shí)間：1S—24H

6. 重復(fù)性：相對標(biāo)準(zhǔn)偏差≦10%

7. 粒徑準(zhǔn)確度：相對誤差≦10%

8. 自凈時(shí)間：≦10min

9. 光源：激光二極管，經(jīng)過特殊工藝處理優(yōu)化理論壽命20年（MTT）或壽命大于40000小時(shí)

10. 操作界面：彩色觸摸屏顯示控制屏，便于操作和設(shè)定，能同時(shí)顯示八個(gè)通道的數(shù)據(jù)

11. 分辨率：320*240，屏幕數(shù)據(jù)縮功能

12. 允許采樣濃度：≧0.3微米≦1000000立方英尺損失≦10%或≦500000立方英尺損失≦5

13. 檢測的空氣中不得含有腐蝕性氣體

14. 外形尺寸：280*260*260（mm）

15. 重量：7KG

16. 功耗：50W

17. 電源：AC 100~240 ,50—60HZ,16.8V內(nèi)置鋰電池、DC16—24V

18. 數(shù)據(jù)存儲：3000組

19. 表面材質(zhì)：SUS316L

20. 連續(xù)工作時(shí)間：8小時(shí)

21. 零計(jì)數(shù): ≦10分鐘內(nèi)連續(xù)3分鐘為0

22.執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)：ISO21501-4:2018、GB/T6167-2007、JJF1190-2008

23. 采樣口徑：1/4"Flaretek TM

24. 使用環(huán)境條件：溫度：10-35℃ ，濕度：20-75%RH,大氣壓：86-106kPa

25. 輸出方式：內(nèi)置熱敏打印機(jī)或485協(xié)議

26. 語言：中、英、德、日等多國語言

27. 保修：二年 （儀器自身質(zhì)量）