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詳細(xì)介紹
Veritas-300 是【馳奔儀器】第二代鎢絲槍掃描電鏡系列之大型分析掃描電鏡（馳奔儀器）
Veritas-300大型分析掃描電鏡（馳奔儀器）是全數(shù)字化控制，專(zhuān)業(yè)級(jí)電子顯微成像分析儀器。采用大型立方體樣品分析室（分析室可定制），全內(nèi)置五軸優(yōu)中心自動(dòng)樣品臺(tái)，為大塊樣品如零部件整體檢測(cè)，為微納米尺度操作工具之拓展分析提供多種可能。
技術(shù)特征：
全數(shù)字化控制，專(zhuān)業(yè)級(jí)電子顯微成像分析配置 ；
大樣品倉(cāng)容納大塊樣品，及更大分析空間，優(yōu)化電子顯微分析效果 ；
接配EDS、WDS、EBSD、CL等，專(zhuān)業(yè)分析附件探測(cè)器協(xié)調(diào)工作；
優(yōu)五軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)中心樣品，全內(nèi)置結(jié)構(gòu)，優(yōu)化提高電子顯微成像分析效果
大型樣品倉(cāng) 可定制多種探測(cè)器接口
五軸優(yōu)中心樣品臺(tái)，全內(nèi)置結(jié)構(gòu)，無(wú)真空貫穿活動(dòng)密封件，
安裝示意：
性能指標(biāo)
型號(hào) | Veritas-300 專(zhuān)業(yè)入門(mén)級(jí)多功能掃描電鏡 |
樣品臺(tái) | 五軸優(yōu)中心，計(jì)算導(dǎo)航，五軸全自動(dòng)控制 X: 120mm Y: 120mm Z: 5-65mm R: 360°無(wú)限 T: -20°~90° |
電子槍 | 預(yù)對(duì)中鎢燈絲 三極自動(dòng)偏壓 |
加速電壓 | 200V-30KV （大發(fā)射電流190μA @ 30KV/大電子槍功率：5.7W) |
探測(cè)器 | ET-SED |
物鏡光闌 | 20μm 20μm 50μm 100μm 四位可變光闌 |
分辨率 | 4nm @30KV ( SEI) |
放大倍數(shù) | 10-300,000 X |
樣品室 | Se、Bse、EDS、WDS、EBSD、CL等接口，接口可定制 |
大樣品尺寸 | Φ210mm X 65mm |
工作距離 | 0-65mm |
掃描光柵運(yùn)動(dòng) | 電位移 ±50μm， 電旋轉(zhuǎn) 0-360° |
掃描模式 | 聚焦模式：320X240 像素 ，尺寸可變 TV模式：800x 600像素 慢掃描模式，用于TV及聚焦模式。 照相模式：800X600、960X720、1024x768、1600x1200、大3200x2400像素 動(dòng)態(tài)聚焦，傾斜補(bǔ)償 |
圖像格式 | JPG、TIFF、bmp、PNG |
真空模式 | 高真空優(yōu)于9x10-3Pa |
真空系統(tǒng) | 全自動(dòng)真空系統(tǒng)，真空高壓連鎖安全保護(hù)（高真空時(shí)間小于3分鐘） -渦輪分子泵 |
自動(dòng)功能 | 亮度/對(duì)比度, 聚焦, 電子槍對(duì)中、偏壓、飽和，物鏡光闌搖擺對(duì)中 |
軟件系統(tǒng) | 基于Win8，Virtuoso1.1控制軟件. 內(nèi)嵌長(zhǎng)度角度面積測(cè)量、圖像編輯處理工具。*鼠標(biāo)鍵盤(pán)操作。 |
主機(jī)尺寸/重量 | 800(W）x825（D）x 1500（H）mm /200kg |
電源 | 單相交流 220V 、50Hz、1KW |
耗材附件 | 預(yù)對(duì)中燈絲，樣品托，碳導(dǎo)電膠帶，導(dǎo)電銀膠，工具 |
可選配置 | 四象限BSED | 樣品室攝像機(jī) | 升級(jí)LaB6/CeB6陰極 | 3D重構(gòu)成像軟件 | 拉曼光譜 | EDS能譜儀 | WDS波譜儀 | EBSD 電子背散射衍射 | CL 陰極熒光 |電子束曝光裝置 |
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