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詳細(xì)介紹
北京漢達(dá)森德國(guó)原廠(chǎng)直供德國(guó)PhysikInstrumenteA-110帶空氣軸承線(xiàn)性平臺(tái)、PhysikInstrumenteA-110帶空氣軸承線(xiàn)性平臺(tái)
Physik Instrumente公司簡(jiǎn)介：
Physik Instrumente（PI）GmbH & Co.KG 多年來(lái)，PI的產(chǎn)品一直以高品質(zhì)和創(chuàng)新技術(shù)而著稱(chēng)。在提供產(chǎn)品質(zhì)量的同時(shí)，PI更為用戶(hù)提供創(chuàng)新的技術(shù)服務(wù)和完整的解決方案。從精密加工到數(shù)字與模擬控制電路，從亞納米級(jí)的電容位置傳感器到*的PICMA 壓電陶瓷促動(dòng)器，PI已掌握全套關(guān)鍵技術(shù)，強(qiáng)大的技術(shù)實(shí)力推動(dòng)著微米納米定位技術(shù)不斷地向前沿發(fā)展，也使得PI成為眾多高科技企業(yè)、*實(shí)驗(yàn)室的合作伙伴。
產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
產(chǎn)品概述
PIglide定位系統(tǒng)具有一個(gè)磁性線(xiàn)性電機(jī)、磁性預(yù)載空氣軸承和一個(gè)光學(xué)線(xiàn)性編碼器：非接觸式無(wú)摩擦運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)*精度和可靠性
產(chǎn)品特點(diǎn)：
- 掃描應(yīng)用的*選擇或精密定位
- 無(wú)塵室兼容
- 運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的尺寸160毫米×200 毫米
- 行程達(dá)400 毫米
- 負(fù)載容量達(dá)100 牛
附件和可選配件
- 編碼器
- PIglide Filter und Druckregler
- 單軸和多軸運(yùn)動(dòng)控制器
- XY裝置和個(gè)性化配置
- 花崗巖底座板和隔振系統(tǒng)
應(yīng)用領(lǐng)域
PIglide定位系統(tǒng)非常適用于高精度應(yīng)用，諸如半導(dǎo)體或平板顯示器制造中的計(jì)量、光子學(xué)和精密掃描。
由于運(yùn)動(dòng)無(wú)摩擦，不會(huì)形成顆粒，PIglide平臺(tái)非常適用于無(wú)塵室應(yīng)用。
規(guī)格
運(yùn)動(dòng) | A-110.050xx | A-110.100xx | A-110.200xx | A-110.300xx | A-110.400xx | 單位 | 公差 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
主動(dòng)軸 | X | X | X | X | X |
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行程 | 50 | 100 | 200 | 300 | 400 | 毫米 |
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螺距/偏轉(zhuǎn)角(1) | 15 | 15 | 20 | 30 | 40 | 微弧度 | 大 |
直線(xiàn)度/ | 0.5 | 0.5 | 1 | 1 | 1.5 | 微米 | 大 |
| ±10 | ±10 | ±10 | ±10 | ±10 | 納米 | 大 |
速度，空載(2) | 0.5 | 0.5 | 1 | 1 | 1 | 米/秒 | 大 |
加速度，空載(2) | 10 | 10 | 30 | 30 | 30 | 米/平方秒 | 大 |
機(jī)械特性 | A-110.050xx | A-110.100xx | A-110.200xx | A-110.300xx | A-110.400xx | 單位 | 公差 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
Z向負(fù)載能力(3) | 100 | 100 | 100 | 100 | 100 | 牛 | 大 |
移動(dòng)質(zhì)量 | 2.5 | 2.5 | 2.6 | 2.6 | 2.6 | 千克 |
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總質(zhì)量 | 6.3 | 7.5 | 11 | 12 | 14 | 千克 |
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導(dǎo)向類(lèi)型 | 空氣軸承 | 空氣軸承 | 空氣軸承 | 空氣軸承 | 空氣軸承 |
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驅(qū)動(dòng)特性 | A-110.050xx A-110.100xx | A-110.200xx A-110.300xx A-110.400xx | 單位 | 公差 |
|---|---|---|---|---|
驅(qū)動(dòng)類(lèi)型 | 無(wú)鐵芯三相線(xiàn)性電機(jī) | 無(wú)鐵芯三相線(xiàn)性電機(jī) |
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中間電路電壓，均方根 | 48，標(biāo)稱(chēng)值 60，大值 | 48，標(biāo)稱(chēng)值 60，大值 | 伏直流 |
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峰值力 | 25 | 85 | 牛 | 典型值 |
標(biāo)稱(chēng)力 | 9.2 | 39 | 牛 | 典型值 |
力常數(shù)，均方根 | 4.2 | 12.3 | 牛/安 | 典型值 |
相間電阻 | 8.2 | 3.6 | 歐姆 | 典型值 |
相間電感 | 2.7 | 1.24 | 毫亨 | 典型值 |
相間反電動(dòng)勢(shì) | 4.2 | 10.1 | 伏·秒/米 | 大 |
布線(xiàn) | 內(nèi)部，無(wú)移動(dòng)電纜 | 外部，移動(dòng)電纜 |
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定位 | A-110.xxxA | A-110.xxxB |
|---|---|---|
集成傳感器 | 增量線(xiàn)性編碼器 | 編碼器 |
傳感器信號(hào) | 正弦/余弦，1伏峰峰值，20微米信號(hào)周期 | BiSS-C |
傳感器分辨率 | 1.2納米(4) | 1納米 |
雙向重復(fù)性 | ±0.1微米(4) | ±0.1微米 |
定位精度，未校準(zhǔn)(5) | A-110.050：± 1.5微米 A-110.100：± 1.5微米 A-110.200：± 2微米 A-110.300：± 3微米 A-110.400：± 4微米 | A-110.050：± 1.5微米 A-110.100：± 1.5微米 A-110.200：± 1.5微米 A-110.300：± 1.5微米 A-110.400：± 1.5微米 |
定位精度，已校準(zhǔn)(5) | A-110.050：± 0.5微米 A-110.100：± 0.5微米 A-110.200：± 0.5微米 A-110.300：± 0.5微米 A-110.400：± 0.5微米 | A-110.050：± 0.5微米 A-110.100：± 0.5微米 A-110.200：± 0.5微米 A-110.300：± 0.5微米 A-110.400：± 0.5微米 |
其他 | A-110 |
|---|---|
工作壓力(6) | 60至70磅 /平方英寸（415至485千帕） |
耗氣量 | < 1.0 SCFM (28 SLPM) |
空氣質(zhì)量 | 清潔（過(guò)濾達(dá)1.0微米或更佳）ISO 8573–1 級(jí)別1 無(wú)油 - ISO 8573–1 級(jí)別1 干燥（-15°C露點(diǎn)） - ISO 8573–1 級(jí)別3 |
材料 | 硬膜鋁，不銹鋼固定硬件 |
(1)取決于平臺(tái)安裝表面的平面度。
(2)可能受有效載荷、控制器或驅(qū)動(dòng)器的限制。
(3)假定有效載荷重心位于運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上方50毫米范圍以?xún)?nèi)的*。平臺(tái)僅設(shè)計(jì)用于水平操作。
(4)假定16384x插值。有關(guān)其他因子的使用
(5)通過(guò)基于控制器的誤差補(bǔ)償，可獲得改善的精度。為實(shí)現(xiàn)這些數(shù)值，平臺(tái)必須與PI控制器一同訂購(gòu)。精度值取短時(shí)間段，不考慮平臺(tái)上熱漂移的*影響。
(6)為防止平臺(tái)損壞，建議將空氣壓力傳感器連接到控制器運(yùn)動(dòng)停止輸入端。
訂購(gòu)信息
A-110.050A1 PIglideLC線(xiàn)性平臺(tái)，空氣軸承，50毫米行程，增量帶正弦/余弦信號(hào)傳輸?shù)木€(xiàn)性編碼器，20微米傳感器信號(hào)周期，無(wú) 鐵芯三相線(xiàn)性電機(jī)，48伏
A-110.050B1 PIglideLC線(xiàn)性平臺(tái)，空氣軸承，50毫米行程，帶BiSSC信號(hào)傳輸?shù)木€(xiàn)性編碼器，1納米傳感器分辨率，無(wú)鐵芯三相線(xiàn)性電機(jī)，48伏
A-110.100A1 PIglideLC線(xiàn)性平臺(tái)，空氣軸承，100毫米行程，增量帶正弦/余弦信號(hào)傳輸?shù)木€(xiàn)性編碼器，20微米傳感器信號(hào)周期，無(wú) 鐵芯三相線(xiàn)性電機(jī)，48伏
A-110.100B1 PIglideLC線(xiàn)性平臺(tái)，空氣軸承，100毫米行程，帶BiSSC信號(hào)傳輸?shù)木€(xiàn)性編碼器，1納米傳感器分辨率，無(wú)鐵芯三相線(xiàn)性電機(jī)，48伏
A-110.200A1 PIglideLC線(xiàn)性平臺(tái)，空氣軸承，200毫米行程，增量帶正弦/余弦信號(hào)傳輸?shù)木€(xiàn)性編碼器，20微米傳感器信號(hào)周期，無(wú) 鐵芯三相線(xiàn)性電機(jī)，48伏
A-110.200B1 PIglideLC線(xiàn)性平臺(tái)，空氣軸承，200毫米行程，帶BiSSC信號(hào)傳輸?shù)木€(xiàn)性編碼器，1納米傳感器分辨率，無(wú)鐵芯三相線(xiàn)性電機(jī)，48伏
A-110.300A1 PIglideLC線(xiàn)性平臺(tái)，空氣軸承，300毫米行程，增量帶正弦/余弦信號(hào)傳輸?shù)木€(xiàn)性編碼器，20微米傳感器信號(hào)周期，無(wú) 鐵芯三相線(xiàn)性電機(jī)，48伏
A-110.300B1 PIglideLC線(xiàn)性平臺(tái)，空氣軸承，300毫米行程，帶BiSSC信號(hào)傳輸?shù)木€(xiàn)性編碼器，1納米傳感器分辨率，無(wú)鐵芯三相線(xiàn)性電機(jī)，48伏
A-110.400A1 PIglideLC線(xiàn)性平臺(tái)，空氣軸承，400毫米行程，增量帶正弦/余弦信號(hào)傳輸?shù)木€(xiàn)性編碼器，20微米傳感器信號(hào)周期，無(wú) 鐵芯三相線(xiàn)性電機(jī)，48伏
A-110.400B1 PIglideLC線(xiàn)性平臺(tái)，空氣軸承，400毫米行程，帶BiSSC信號(hào)傳輸?shù)木€(xiàn)性編碼器，1納米傳感器分辨率，無(wú)鐵芯三相線(xiàn)性電機(jī)，48伏
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