納米壓印機

NIL Technology 公司簡稱NILT，位于北歐小國丹麥，NIL Technology 是一家專門從事生產(chǎn)納米壓印機、納米結構微加工掩膜和各類標準納米壓印模板的高科技公司。其納米壓印設備（Nanoimprint lithography Tools）產(chǎn)品主要有CNI系列紫外/熱壓壓印機，以及EZI-UV NIL納米壓印儀器。

丹麥NILT的壓印機能夠實現(xiàn)納米壓印、熱模壓、滾印、注射模塑和紫外壓印等多種功能，適用于多種應用。

NILT 納米壓印機 主要應用：

壓印易碎的材料、在硅片上制作納米級光柵

制作壓印模板、掩膜

熱壓高深寬比結構圖形

微結構加工

CNI系列壓印機（UV & 熱壓）， 纖細輕巧

CNI V2.1 是一款專為實驗室開發(fā)的即插即用，纖細輕巧的納米壓印工具，其能低成本且高效地實現(xiàn)高精度的納米熱壓工藝。它兼具熱壓印和紫外壓印兩種功能，而且可以快速的實現(xiàn)真空環(huán)境下的壓印。這個系統(tǒng)可以方便的根據(jù)不同需要進行配置，閑置時也易于收藏。

它可以處理各種不同形狀、格式以及直達100mm（4英寸）的模板和基片。該系統(tǒng)只需要手動裝入和取出模板和基片，其余的操作都是自動化進行，同時附帶軟件還提供了詳細的參數(shù)設置，讓客戶對壓印過程實行全名的操控。

特點：

熱壓?。囟冗_240℃）和 紫外壓?。?65nm）兩種功能

真空壓?。?mbar）

即插即用，纖細輕巧，實驗設計、記錄、分析的好幫手

EZI-UV NIL微加工壓印機

EZI UV Nanoimprint System PL400 / 600

EZImprinting是一款具有超高良品產(chǎn)率（> 99％），帶有一步自動脫模制式（ONE-STEP AUTO RELEASE）特色的納米壓印光刻平臺，可精確運作和處理的10納米以內的圖形。

特點：

可處理10nm尺寸內的圖形，99%的良品率

全晶圓壓印，6英寸(NTP-600) ，4英寸（NTP-400），

一步自動脫模（ONE STEP AUTO-RELEASE）技術，避免基板和模板損傷

PLC可編程式軟件和觸控界面

可配合軟硬模板 ，適合不同大小基板和模板

NILT CT100 - 脫模處理設備（Release Agent Treatment Tool）

為了達到高質量的壓印效果，必須保證模具表面的低能量，以確保模具容易從壓印抗蝕劑中脫離。 CT100脫模處理設備是一種易于使用的全自動工具，可在15分鐘內對模具進行防粘涂層。

NILT PC100 - 等離子清潔設備（Plasma cleaning tool）

PC100等離子清潔設備是一款具有下游等離子體的批量清潔工具（晶片垂直放置在腔室內）。 下游等離子體不會攻擊任何有機材料，包括晶片表面上的金屬。 該工具可配備3 nm濾光片，以確保清潔后晶圓上的顆粒污染極低。

NIL仿真軟件

NIL Technology提供Simprint仿真軟件，節(jié)省寶貴的時間來優(yōu)化壓印參數(shù)，