顯微鏡納米定位平臺(tái)

PRIOR公司的Queensgate系列顯微鏡納米定位平臺(tái)英文名為Nanopositioning Devices，包含了一系列的配套納米技術(shù)產(chǎn)品，包括：納米定位平臺(tái)，閉環(huán)/開環(huán)數(shù)字控制器，執(zhí)行器，傳感器等。顯微鏡納米定位設(shè)備能應(yīng)用于需要高速，高精度的應(yīng)用，如測(cè)量磁頭和磁盤驅(qū)動(dòng)器，干涉測(cè)量法，計(jì)量學(xué)，原子力顯微鏡探針等。

海納光學(xué)提供納米定位設(shè)備，納米定位平臺(tái)，顯微鏡納米定位平臺(tái)，OEM納米定位平臺(tái)，Queensgate

型號(hào)：NPS-X-28C，QGNPS-TG-7A，QGNPS-X-15A，QGNPS-XY-100

 

PRIOR公司旗下的Queensgate系列納米定位設(shè)備（Nanopositioning Devices）擁有悠久而成功的歷史，其專家團(tuán)隊(duì)擁有豐富的知識(shí)和經(jīng)驗(yàn)，能夠提供一系列OEM納米定位解決方案。

Queensgate系列產(chǎn)品有納米定位設(shè)備，納米定位平臺(tái)，納米傳感器，控制器和電子設(shè)備，還包括納米定位執(zhí)行器/轉(zhuǎn)換器和軟件等各種納米技術(shù)產(chǎn)品。

 

一、OEM納米定位平臺(tái)

型號(hào)：NPS-X-28C納米定位平臺(tái)，30μm行程范圍, Nanopositioning

NPS-X-28C是為高速，超精密MR磁頭和磁盤驅(qū)動(dòng)器測(cè)試應(yīng)用而開發(fā)的OEM納米定位平臺(tái)。它體積小，毫秒響應(yīng)時(shí)間非常適合高可靠性和高吞吐量的應(yīng)用。NPS-X-28C納米定位平臺(tái)具有低移動(dòng)質(zhì)量和高剛度相結(jié)合，并且提供*的帶寬。

NPS-X-28C納米定位設(shè)備采用電容式傳感器設(shè)計(jì)，提供亞納米位移測(cè)量和超過(guò)30微米范圍的閉環(huán)反饋。設(shè)備具有高精度的運(yùn)動(dòng)，很大程度上避免寄生運(yùn)動(dòng)。結(jié)合Queensgate的數(shù)字閉環(huán)控制器，NPS-X-28C可以實(shí)現(xiàn)毫秒響應(yīng)和穩(wěn)定時(shí)間（settle times）。

 

NPS-X-28C 30  OEM納米定位平臺(tái)的特點(diǎn)：

· >30μm行程，亞納米分辨率

· *諧振頻率> 4.5KHz

· 帶寬高達(dá)1KHz

· 原位掃描和步進(jìn)響應(yīng)優(yōu)化

· 穩(wěn)定可靠，即插即用設(shè)施，可實(shí)現(xiàn)低停機(jī)時(shí)間。

 

控制器型號(hào)：

NPC-D-5200或NPC-D-6330系列控制器

專為控制Queensgate的納米精密設(shè)備而設(shè)計(jì)。PRIOR的控制器使用現(xiàn)代DSP技術(shù)，并結(jié)合壓電驅(qū)動(dòng)放大器，電容位置傳感電路和伺服控制功能，同事還使用PID（比例積分微分）反饋，*地改善了穩(wěn)定時(shí)間并弱化了機(jī)械共振的影響。虛擬前面板軟件便于用戶控制所有操作參數(shù)，包括設(shè)置PID循環(huán)。

 

二、Nanopositioning Stages顯微鏡納米定位平臺(tái)

PRIOR的Nanopositioning Stages納米定位平臺(tái)采用閉環(huán)壓電驅(qū)動(dòng)技術(shù)。產(chǎn)品規(guī)格書中列出了納米平臺(tái)對(duì)應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)材料，我們還提供眾多替代材料，包括Super Invar，不銹鋼，鈦和鋁，應(yīng)用于真空，輻射，高溫兼容等不同的場(chǎng)合。

Queensgate納米定位平臺(tái)采用線性或傾斜/旋轉(zhuǎn)形式，具有單軸和多軸配置，采用高性能壓電驅(qū)動(dòng)，結(jié)合Queensgates*的電容位置反饋，提供完整的高性能閉環(huán)系統(tǒng)。合理設(shè)定閉環(huán)數(shù)字控制器，即可以實(shí)現(xiàn)*即插即用的互換性，使用非常方便。

 

QGNPS-TG-7A高性能*傾斜納米平臺(tái)

納米定位*傾斜納米平臺(tái)QGNPS-TG-7A專為需要高速，超高精度，光學(xué)檢測(cè)中的反射鏡定位、成像系統(tǒng)和激光定位設(shè)備而開發(fā)。一個(gè)的鏡子固定在傾斜基座平臺(tái)上，提供> 7毫弧度的行程，具有亞微弧度分辨率。

QGNPS-TG-7A專為高速帶寬而設(shè)計(jì)，適用于高速應(yīng)用。 它采用Invar 36結(jié)構(gòu)制造，其低熱膨脹系數(shù)與大多數(shù)光學(xué)元件相匹配，可大限度地減少熱變形，并大限度地減少熱位置移動(dòng)。標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)提供± 3.5 mrad行程，但可根據(jù)要求提供更短距離選項(xiàng)。

 

QGNPS-TG-7A納米轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)的特點(diǎn)：

· 每個(gè)軸向有超過(guò)7mrad的移動(dòng)范圍，分辨率高達(dá)亞微弧度

· Invar 36設(shè)計(jì)匹配大多數(shù)光學(xué)元件的熱膨脹并小化任何熱位置移動(dòng)

· 電容式定位傳感器提供的位置精度和準(zhǔn)確度，高位置更新率

· 動(dòng)態(tài)性能，高負(fù)載諧振頻率以及超過(guò)1KHz的超高伺服環(huán)路帶寬

· 封閉機(jī)制，高穩(wěn)定性和可靠性

· 步進(jìn)時(shí)間<2ms

· 即插即用

 

QGNPS-TG-7A納米旋轉(zhuǎn)平臺(tái)的控制器型號(hào)為QGNPC-D-6330 Three Axis Digital Controller，這款納米旋轉(zhuǎn)平臺(tái)可用于激光掃描、激光束穩(wěn)定、圖像處理和穩(wěn)定、光學(xué)濾波器/開關(guān)、掃描顯微鏡（SPM）和激光通信指向設(shè)備等領(lǐng)域。

 

QGNPS-X-15A快速定位微米平臺(tái)，15μm行程

QGNPS-X-15A 微米級(jí)平臺(tái)是專為高速，超精密MR磁頭和磁盤驅(qū)動(dòng)器測(cè)試等應(yīng)用而設(shè)計(jì)，其具有小巧的尺寸和毫秒的響應(yīng)時(shí)間，非常適合用于高可靠性和高吞吐量的各種應(yīng)用場(chǎng)合。QGNPS-X-15A 快速定位微米平臺(tái)具有低移動(dòng)質(zhì)量（low moving mass）和高剛度，提供*的帶寬。

微米平臺(tái)內(nèi)部集成了緊湊的內(nèi)部電容式傳感器，可在超過(guò)16微米的范圍內(nèi)提供亞納米位移測(cè)量和閉環(huán)反饋。提供高純度的運(yùn)動(dòng)，將寄生運(yùn)動(dòng)減少到通常1微弧度。結(jié)合Queensgate的數(shù)字閉環(huán)控制器，QGNPS-X-15A可以實(shí)現(xiàn)毫秒響應(yīng)和啟動(dòng)時(shí)間。

 

QGNPS-X-15A快速定位微米平臺(tái)的特點(diǎn)：

·15微米行程，亞納米分辨率

·*諧振頻率3 KHz (4 KHz NPS-X-15D)

·負(fù)載為50克時(shí)響應(yīng)時(shí)間為毫秒級(jí)

·原位掃描和步進(jìn)響應(yīng)優(yōu)化

·穩(wěn)定可靠的工業(yè)級(jí)產(chǎn)品

·低停機(jī)時(shí)間，即插即用

 

QGNPS-X-15A快速定位微米平臺(tái)的控制器型號(hào)可選NPC-D-5200 Digital Controller或NPC-D-6000 Series。其應(yīng)用領(lǐng)域涵蓋磁頭和磁盤驅(qū)動(dòng)器測(cè)試、干涉測(cè)量法、計(jì)量學(xué)和原子力顯微鏡探針等領(lǐng)域。

 

QGNPS-XY-100兩軸微米平臺(tái)（兩軸100x100µm平臺(tái)）

QGNPS-XY-100屬于壓電掃描彎曲導(dǎo)向平臺(tái)，帶有集成電容位置傳感器，能夠達(dá)到亞納米級(jí)的分辨率和重復(fù)性。QGNPS-XY-100的彎曲引導(dǎo)結(jié)構(gòu)能夠使兩軸微米平臺(tái)在整個(gè)100微米范圍內(nèi)將寄生角運(yùn)動(dòng)減少到小于25微弧度。這款兩軸微米平臺(tái)還采用了*的等靜壓安裝系統(tǒng)，可確保安裝系統(tǒng)的應(yīng)力得到適當(dāng)?shù)尼尫?，并確定平臺(tái)的中心作為坐標(biāo)參考點(diǎn)。

QGNPS-XY-100A雙軸100μmx100μm超級(jí)不脹鋼微米平臺(tái)——由超級(jí)殷鋼（CTE 0.3ppm K-1）制成，可大限度地減少熱漂移，這一點(diǎn)對(duì)于納米平臺(tái)非常重要。配備3點(diǎn)可調(diào)安裝座。

QGNPS-XY-100D雙軸100μmx100μm超級(jí)鋁微米平臺(tái)——具有分辨率，快速的XY-100系列動(dòng)態(tài)，非常具有性價(jià)比。 配備4個(gè)角落安裝。

 

QGNPS-XY-100特點(diǎn)：

· 每個(gè)軸行程大于100微米，亞納米分辨率

· 滯后和線性誤差<0.005％

· *諧振頻率> 350 Hz（NPS-XY-100A），> 500 Hz（NPS-XY-100B），> 650 Hz（NPS-XY-100D）

· 高帶寬（> 50 Hz）和快速響應(yīng)時(shí)間

· 原位掃描和步進(jìn)響應(yīng)優(yōu)化

· 與NPS-Z-15A或NPS-Z-15H配合使用可實(shí)現(xiàn)XYZ三軸平移

· 使用超級(jí)不脹鋼材料（NPS-XY-100A），鋁合金（NPS-XY-100B）或鋁（NPS-XY-100BD）

 

QGNPS-XY-100兩周微米平臺(tái)的控制器型號(hào)為QGNPC-D-6330 Three Axis Digital Controller，其可應(yīng)用于高精度顯微鏡和原子力顯微鏡，SPM，NSOM等領(lǐng)域。