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硅片超聲波清洗機

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更新時間:2021-06-25 15:39:00瀏覽次數:229次

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產品簡介

硅片超聲波清洗機概述:該設備用于晶圓片擴散、蒸發(fā)、CAV生產前的清洗處理

詳細介紹


硅片超聲波清洗機概述:

該設備用于晶圓片擴散、蒸發(fā)、CAV生產前的清洗處理。該機共有六種清洗方式可供選擇,清洗程序為純水清洗、膽堿清洗、冷熱純水沖洗、酸洗(HF)、純水清洗。其工藝性能指標及可靠性*達到進口同類設備水平,但價格、售后服務、備品備件的供給等是進口設備的。

硅片超聲波清洗機主要特點:

采用進口PP板制作。

適用2-6寸硅片清洗。

超聲功率強勁,性能穩(wěn)定。



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