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安博元科技無(wú)錫有限公司


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W1300/1600/1601iP(L) TURBOVAC MAG INTEGRA集成磁懸浮復(fù)合分子泵

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地無(wú)錫市

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更新時(shí)間：2024-09-13 07:28:29瀏覽次數(shù)：30次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

典型應(yīng)用- PVD鍍膜系統(tǒng)- 建筑玻璃鍍膜- 光學(xué)鍍膜- 液晶顯示器- 平板顯示- 科研- 分析領(lǐng)域技術(shù)特點(diǎn)- 任意方向安裝- DN 200和/或250 ，在ISO-F和/或CF高真空接口- DN 40 KF前級(jí)真空接口- 保護(hù)氣/破空接口DN 16 KF（卡簧式）MAG INTEGRA 系列產(chǎn)品MAG INTEGRA – 集成磁懸浮復(fù)合分子泵- 水冷- CE和RoHS認(rèn)證：滿足UL要求- 防護(hù)等......

詳細(xì)介紹

典型應(yīng)用

- PVD鍍膜系統(tǒng)

- 建筑玻璃鍍膜

- 光學(xué)鍍膜

- 液晶顯示器

- 平板顯示

- 科研

- 分析領(lǐng)域


技術(shù)特點(diǎn)

- 任意方向安裝

- DN 200和/或250 ，在ISO-F和/或CF

高真空接口

- DN 40 KF前級(jí)真空接口

- 保護(hù)氣/破空接口DN 16 KF（卡簧

式）

MAG INTEGRA 系列產(chǎn)品

MAG INTEGRA – 集成磁懸浮復(fù)合分子泵

- 水冷

- CE和RoHS認(rèn)證：滿足UL要求

- 防護(hù)等級(jí)IP 54

- 兩個(gè)工業(yè)通信模塊卡接口

- RS 232，維護(hù)接口

- 可以安裝其它接口：Profibus、RS

485 C，9針24 V SPS


客戶得益

- 抽速和氣載量較高

- 可靠、耐用

- 免維護(hù)

- 適合用于分析、薄膜技術(shù)、電子顯

微鏡、科研領(lǐng)域等對(duì)振動(dòng)敏感的應(yīng)

用場(chǎng)合

- 由于采用模塊化設(shè)計(jì)具有靈活性，

變頻器可以安裝在一側(cè)或下面

更多信息請(qǐng)聯(lián)系萊寶：安博元科技 info

技術(shù)特點(diǎn)

- 任意方向安裝

- DN 200和/或250 ，在ISO-F和/或CF

高真空接口

- DN 40 KF前級(jí)真空接口

- 保護(hù)氣/破空接口DN 16 KF（卡簧

式）

MAG INTEGRA 系列產(chǎn)品

MAG INTEGRA – 集成磁懸浮復(fù)合分子泵

- 水冷

- CE和RoHS認(rèn)證：滿足UL要求

- 防護(hù)等級(jí)IP 54

- 兩個(gè)工業(yè)通信模塊卡接口

- RS 232，維護(hù)接口

- 可以安裝其它接口：Profibus、RS

485 C，9針24 V SPS


客戶得益

- 抽速和氣載量高

- 可靠、耐用

- 免維護(hù)

- 適合用于分析、薄膜技術(shù)、電子顯

微鏡、科研領(lǐng)域等對(duì)振動(dòng)敏感的應(yīng)

用場(chǎng)合

- 由于采用模塊化設(shè)計(jì)具有靈活性，

變頻器可以安裝在一側(cè)或下面

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典型應(yīng)用

- PVD鍍膜系統(tǒng)

- 建筑玻璃鍍膜

- 光學(xué)鍍膜

- 液晶顯示器

- 平板顯示

- 科研

- 分析領(lǐng)域

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技術(shù)參數(shù) TURBOVAC MAG INTEGRA W

1300 iP(L) 1600/1601 iP(L)


進(jìn)氣口法蘭

DN

200 ISO-F

250 ISO-F




200 CF



抽速





氮?dú)?

I x s-1

1100

1600


氬氣

I x s-1

1050

1470


氦氣

I x s-1

1220

1770/1700


氫氣

I x s-1

1130

1570/1500


轉(zhuǎn)速

min-1

37 800

33 000


可調(diào)待機(jī)轉(zhuǎn)速

min-1

13 800 (230 Hz)

13 800 (230 Hz)


壓縮比





氮?dú)?/span>


> 108

> 107


氬氣


> 108

> 107


氫氣，1 sccm時(shí)


2 0 x 105

6 x 104/3 x 103


氦氣，1 sccm時(shí)


8 0 x 103

1 0 x 103/5 x 102


氣載量





氮?dú)?，短暫，例如抽出?






mbar x I x s-1

30

60


氮?dú)?，連續(xù)使用






mbar x I x s-1

20

30/40


氬氣，短暫，例如抽出中






mbar x I x s-1

20

30


氬氣，連續(xù)使用






mbar x I x s-1

15

20/25


極限壓強(qiáng)





ISO-F法蘭

mbar

< 10-8

< 10-8


CF法蘭

mbar

< 10-10

–


高除氣溫度

°C

80

80


前級(jí)耐壓





氮?dú)?

mbar

4

1


氬氣

mbar

0 6

1


推薦的前級(jí)泵


TRIVAC B 或干泵

加速時(shí)間

min

< 5

< 7


前級(jí)管道法蘭

DN

40 KF

40 KF


吹掃/破空端口(夾鏈?zhǔn)?/span>)

DN

16 KF

16 KF


水冷接口尺寸

G

1/8"

1/8"


重量

kg

40

45


執(zhí)行ISO 3744標(biāo)準(zhǔn)的噪聲級(jí)

dB(A)

< 41

< 41


速度時(shí)高真空法蘭處的振動(dòng)值

μm

0 01

0 01


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關(guān)鍵詞：電子顯微鏡 顯微鏡

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