半導體材料試驗室恒溫恒濕試驗箱

半導體材料試驗室恒溫恒濕試驗箱

產(chǎn)品用途：
是一款用于半導體材料做高溫、低溫、高低溫交變的可靠性試驗設(shè)備。經(jīng)過測試從而知道因溫度引起的物理效應和現(xiàn)象。

技術(shù)指標

1、溫度范圍:-60℃~150℃

2、濕度范圍:30~98%RH(溫度在25℃~80℃時)

3、溫度均勻度:≤2℃ (空載時)

4、濕度均勻度:+2、-3%RH

5、溫度波動度:±0.5℃ (空載時)

6、濕度波動度:±2%

7、溫度偏差:±2℃

8、濕度偏差:±2%

9、降溫速率:0.7~1.0℃/min

10、升溫速度:1.0~3.0℃/min

11、時間設(shè)定范圍:1~9999H

12、濕度交變范圍:40~98%RH

設(shè)備特點

⒈ 高質(zhì)感外觀，機體采圓弧造型，表面經(jīng)霧面條紋處理，采用數(shù)控機床加工成型，并采用平面無反作用把手，操作容易簡便，安全可靠，造型美觀大方、新穎。

⒉ 長方形復層玻璃觀窗口，大型觀測視窗附照明燈保持箱內(nèi)明亮，且采用雙層玻璃，隨時清晰的觀測試驗中進行試驗品，窗口具防汗電熱器裝置可防止水氣凝結(jié)水滴，及高亮度PL熒光燈保持箱內(nèi)照明。

⒊ 箱門雙層隔絕氣密迫緊，可有效隔絕內(nèi)部溫度泄漏。

⒋ 具可外接式供水系統(tǒng)，方便于補充加濕桶供水，并自動回收使用。

⒌ 壓縮機循環(huán)系統(tǒng)采用法國"泰康"牌，更能有效去除冷凝管與毛細管間的潤滑油并全系列采用環(huán)保冷媒(R23、R404、R507)。

⒍韓國TIME880型觸摸式。固定式條件可設(shè)定時間 0 - 999 H，觸摸式 KEY BOARD，可任意設(shè)定固定或交變條具九點故障警示及簡易維修方法，升，降溫可作斜率控制，并具有自我校正溫度基準點之功能.溫度傳感器采用 DIN PT-100Ω (白金感應).溫度控制均采用 P.I.D. + S.S.R. 系統(tǒng)同步協(xié)調(diào)控制，可提高

控制組件與接口使用之穩(wěn)定性及壽命.

⒎具有 P.I.D. 自動演算之功能，可將溫濕度變化條件立即修正，使溫濕度控制更為精確穩(wěn)定可減少人為設(shè)定時所帶來之不便.

⒏在設(shè)定或運轉(zhuǎn)中，如發(fā)生錯誤時，會提供警示訊號.

⒐控制器具有記錄訊號端輸出，可聯(lián)接溫度記錄器. (屬OPTION選配備) (日本OYO)

⒑可接遠程監(jiān)視﹑記錄系統(tǒng)(試驗數(shù)據(jù)能在計算機上通過上位機軟件直接顯示和打印)。

⒒ 控制器具有多段程序編輯及溫度、濕度可做快速(OUICK)或斜率(SLOP)控制。

⒓ 內(nèi)置式移動滑輪便于移動及擺放并具有強力定位螺絲固定位置

⒔設(shè)有獨立限溫報警系統(tǒng)，超過限制溫度即自動中斷，保證實驗安全運行不發(fā)生意外。箱體左側(cè)配直徑50mm的測試孔。

⒕恒溫恒濕試驗箱箱體箱體內(nèi)膽采用進口高級不銹鋼(SUS304)鏡面板或304B氬弧焊制作而成，箱體外膽采用A3鋼板噴塑烤漆。

⒖可選配記錄儀，打印機能打印記錄設(shè)定參數(shù)和掃描出溫濕度變化曲線，4~20mA標準信號。

 半導體材料試驗室恒溫恒濕試驗箱

 控制系統(tǒng)

控制器 進口微電腦濕溫度集成控制器(濕度直接顯示百分數(shù))。

精度范圍 設(shè)定精度:溫度±0.1℃、濕度±0.1%R·H，指示精度:溫度± 0.1℃、溫度±0.1%R·H 溫濕度傳感器 鉑鉑金電阻·PT100Ω。

加熱系統(tǒng) *獨立系統(tǒng)，鎳鉻合金電加熱式加熱器。

加濕系統(tǒng) 外置隔離式，全不銹鋼鍋爐式淺表面蒸發(fā)式加濕器。

循環(huán)系統(tǒng) 耐溫低噪音空調(diào)型電機，多葉式離心風輪。

控制特點
試驗箱的控制系統(tǒng)可說是整個設(shè)備的心臟，掌管著制冷、制熱、控濕、循環(huán)、控制等大權(quán)。

在制冷方面，壓縮機是采用德國進口的壓縮機。制冷系統(tǒng)由高溫部分和低溫部分組成，每一部分是一個相對獨立的制冷系統(tǒng)。高溫部分中制冷劑的蒸發(fā)吸收來自低溫部分的制冷劑的熱量而汽化;低溫部分制冷劑的蒸發(fā)則從被冷卻的對象(試驗機內(nèi)的空氣)吸熱以獲取冷量。高溫部分和低溫部分之間是用一個蒸發(fā)冷凝器聯(lián)系起來，它既是高溫部分的冷凝器，也是低溫部分的冷凝器。

加熱系統(tǒng)采用*獨立的鎳鉻合金電加熱式，電阻率大、電阻溫度系數(shù)小，在高溫下變形小且不易脆化，自身加熱溫度可達1000~1500℃，使用壽命長。

加濕是恒溫恒濕試驗箱不同于高低溫試驗箱的主要一部分，恒溫恒濕試驗箱采用外置隔離式，全不銹鋼鍋爐式淺表面蒸發(fā)式加濕器。除濕方式采用機械制冷除濕，將空氣冷卻到露點溫度以下，使大于飽和含濕量的水汽凝結(jié)析出，這樣就降低了濕度。

送風循環(huán)系統(tǒng):空氣循環(huán)系統(tǒng)由耐溫低噪音空調(diào)型電機，多葉式離心風輪構(gòu)成。它提供了試驗機內(nèi)空氣的循環(huán)。

控制系統(tǒng)是綜合試驗箱的核心，它決定了試驗機的升溫速率，精度等重要指標。試驗機的控制器大都采用PID控制，也有少部分采用PID與模糊控制相組合的控制方式。由于控制系統(tǒng)基本上屬于軟件的范疇，而且此部分在使用過程中，一般不會出現(xiàn)問題。