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Kanomax 超小型粒子計數(shù)器3950-00技術(shù)革新，致輕、致小，實現(xiàn)了嵌入組裝在半導(dǎo)體制造等裝置中
2.83L/min，同時測試0.1、0.3μm微小粒子
4.3英寸彩色觸摸顯示屏
可使用附帶軟件在PC上顯示測試數(shù)據(jù)
設(shè)有RS-485、Ethernet、USB通訊接口

詳細(xì)介紹

Kanomax 超小型粒子計數(shù)器3950-00

技術(shù)革新，致輕、致小，實現(xiàn)了嵌入組裝在半導(dǎo)體制造等裝置中 2.83L/min，同時測試0.1、0.3μm微小粒子Kanomax 超小型粒子計數(shù)器3950-00 4.3英寸彩色觸摸顯示屏可使用附帶軟件在PC上顯示測試數(shù)據(jù) 設(shè)有RS-485、Ethernet、USB通訊接口

品名		塵埃粒子計數(shù)器
型號		3950-00星源潔凈
粒子測量	測試方法	光散射法
	粒徑通道	2粒徑（0.1、0.3μm）
	額定流量	0.1CFM（2.83L/分）、精度±5%、（符合JIS B9921和ISO21501-4)
	測量時間	6秒~99分59秒（1次測量時間）
	間隔時間	6秒~99分59秒（測量周期）
	采樣次數(shù)	1~999次或連續(xù)測試
	地點設(shè)定	99個地點
	測量方式	重復(fù)、單次、連續(xù)、計算
	測量數(shù)據(jù)顯示時間	1~10秒
	測量數(shù)據(jù)顯示	累計值∑ 差分值△及柱形圖
	最大可測濃度	10,000,000個/m3
	計數(shù)效率	50±20%（相對于最小可測粒徑附近的PSL粒子） 100±10%（相對于最小可測粒徑的1.5倍~2倍的PSL粒子）（符合JIS B9921 和 ISO21501-4）
	偽計數(shù)	<1個/35min
	粒徑分辨率	15%以下（相對0.3μm的PSL粒子）（符合JIS B9921 和 ISO21501-4）
	氣源	內(nèi)置泵
顯示器		4.3英寸彩色液晶觸摸屏
通迅功能	本體	USB（Host用于打印機(jī)、USB存儲；Device用于與PC鏈接） Ethernet、RS485（9600、19200、38400 baud）
數(shù)據(jù)存儲	媒體	內(nèi)存
數(shù)據(jù)存儲	數(shù)量、格式	最大10,000個、CSV格式
顯示語言		英文、日語
電源		AC100~240V
使用環(huán)境	本體	15~35℃、0~85%RH （無結(jié)露）
外形尺寸		W150 X H163 X D228 mm
重量		3.4kg