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LCL-5A 自動橢圓偏振測厚儀

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  物理光學(xué)實(shí)驗(yàn)設(shè)備

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天津良益科技股份有限公司

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產(chǎn)品簡介

儀器簡介：橢圓偏振光譜技術(shù)是近年來隨著現(xiàn)代科技的發(fā)展而迅速發(fā)展起來的光學(xué)無損檢測方法，在材料、信息、化學(xué)、物理、生命科學(xué)等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景

詳細(xì)介紹

儀器簡介：

橢圓偏振光譜技術(shù)是近年來隨著現(xiàn)代科技的發(fā)展而迅速發(fā)展起來的光學(xué)無損檢測方法，在材料、信息、化學(xué)、物理、生命科學(xué)等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景。它已越來越多的用于介電、半導(dǎo)體、金屬、有機(jī)物等各種材料的光學(xué)特性、結(jié)構(gòu)特征、生長過程和材料質(zhì)量的快速測試與研究。儀器采用消光式橢圓偏振方式測量，精度高、自動控制，光源采用氦氖激光，波長精度高，儀器采用USB接口與電腦連接，配套軟件對采樣數(shù)據(jù)具有多種處理方式，適用于不同需要，軟件有完整版及學(xué)生版兩種版本，適于教學(xué)要求。

實(shí)驗(yàn)內(nèi)容：

1、了解并熟悉儀器的工作原理和性能

2、掌握如何利用設(shè)備測試樣品的方法

主要配置和參數(shù)：

序號	名稱	規(guī)格和參數(shù)
1	測量范圍	1nm-4000nm
2	測量最小值	≤1nm
3	鍍膜折射率范圍	1.300-10.000
4	入射角	40°-90°誤差≤0.05°
5	偏振器方位角讀數(shù)范圍	0°-180°
6	偏振器步進(jìn)角	0.0375°/步
7	測量精度	±0.5nm（10nm,±0.5nm）
8	光學(xué)中心高度	75mm
9	工作臺直徑	Φ10mm-Φ120mm
10	厚度	≤10mm