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詳細(xì)介紹
詳情介紹：
高速勻膠涂膜機(jī)的主要結(jié)構(gòu)特點(diǎn)：
1、采用無刷伺服電機(jī)，電機(jī)設(shè)計(jì)避免光刻膠等污染物進(jìn)入電機(jī)內(nèi)部。
2、機(jī)身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼、生銹，便于清洗。
3、排風(fēng)和抽氣系統(tǒng)位計(jì)于載片臺(tái)之底部 (以利于排風(fēng)效率和勻膠均一性)。
1、采用無刷伺服電機(jī)，電機(jī)設(shè)計(jì)避免光刻膠等污染物進(jìn)入電機(jī)內(nèi)部。
2、機(jī)身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼、生銹，便于清洗。
3、排風(fēng)和抽氣系統(tǒng)位計(jì)于載片臺(tái)之底部 (以利于排風(fēng)效率和勻膠均一性)。
4、透明可視,耐化學(xué)腐蝕的密封蓋(丙烯酸材質(zhì))，可以在旋涂作業(yè)時(shí)*隔絕光阻的溢
出有效隔絕有味的散發(fā)。
高速勻膠涂膜機(jī)的主要性能指標(biāo)：
1、主機(jī)機(jī)箱采用不銹鋼材料（抗化學(xué)腐蝕易清潔）
2、旋涂程序：100種程序，多步程序步驟，每個(gè)步驟可**到0.1秒
3、轉(zhuǎn)動(dòng)速度：0-8000rpm
4、旋涂加速度：0-8000rpm/sec（空載）
5、馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差 < ±1%
6、轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度<0.2rpm，重復(fù)性< 0.2rpm
1、主機(jī)機(jī)箱采用不銹鋼材料（抗化學(xué)腐蝕易清潔）
2、旋涂程序：100種程序，多步程序步驟，每個(gè)步驟可**到0.1秒
3、轉(zhuǎn)動(dòng)速度：0-8000rpm
4、旋涂加速度：0-8000rpm/sec（空載）
5、馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差 < ±1%
6、轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度<0.2rpm，重復(fù)性< 0.2rpm
7、工藝時(shí)間設(shè)定： 0-999.9 sec/step 0.1 精度
8、支持wafer尺寸1cm-200mm
9、旋涂作業(yè)均勻性：±3%在6英寸范圍內(nèi)(需要去除邊緣3毫米區(qū)域測量）
《高性能勻膠機(jī)的工作原理》
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