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詳細介紹
詳情介紹：
此款多功能鍍膜儀是一臺小型臺式鍍膜儀，外形小巧，操作便捷，設(shè)有真空表，濺射電流表等，可實時監(jiān)控工作狀態(tài)。通過調(diào)節(jié)電離氣體和鍍膜儀參數(shù)，可獲得良好的鍍膜效果。由于既可進行等離子鍍膜，又可進行熱蒸發(fā)鍍膜，為廣大客戶所歡迎，并受到好評。
多功能鍍膜儀技術(shù)參數(shù)
型號 | CY-1100X-SPC-16C |
靶材直徑 | 50mm |
樣品臺直徑 | 50mm |
真空腔體尺寸 | φ160*110mm |
真空度 | 10Pa~10-3Pa |
Max電流 | 50mA |
Max設(shè)置時間 | 9999s |
工作電壓 | 直流1600V，可調(diào) |
真空泵 | 雙極旋片真空泵：10—100Pa 渦旋分子泵系統(tǒng)：10-3Pa |
電源電壓 | 220V 50Hz |
總功率 | ＜2000W |
蒸發(fā)鍍膜*高溫度 | 1100℃ |
熱電偶 | S型熱電偶 |
控溫精度 | ±1℃ |
鎢絲籃 | 2個 |
真空接口 | KF25 |
顯示器 | LCD觸摸屏 |
膜厚監(jiān)測儀（選配） | 電源：DC5V 工作電流400mA 膜厚分辨率：0.0136埃米 膜厚準確度：±0.05%，取決于過程條件 測量速度：100ms-1s每次，可調(diào) 標準傳感晶體：6MHz石英 |
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